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J-GLOBAL ID：201902210294656093   整理番号：19S1369387

Development of small sized FE-SEM equipped with a carbon nanotube field emitter

著者 (6件)： Saito, Yahachi (Dept. of Quantum Engineering, Nagoya University) ,  Oishi, Shunya (Dept. of Quantum Engineering, Nagoya University) ,  Yamazaki, Shintaro (Dept. of Quantum Engineering, Nagoya University) ,  Nakahara, Hitoshi (Dept. of Quantum Engineering, Nagoya University) ,  Murata, Hidekazu (Dept. of Electric and Electronic Engineering, Meijo University) ,  Ohno, Teruaki (Technex Lab Co.)
資料名： 2016 29th International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2016
発行年： 2016年 
JST資料番号： SCOPUS  ISBN： 9781509024193 
発行国： アメリカ (USA)  言語： 英語 (EN)