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J-GLOBAL ID：201902210894508710   整理番号：19A0026896

エアロゾル支援CVD法による非晶質炭素薄膜の堆積【JST・京大機械翻訳】

Deposition of amorphous carbon thin films by aerosol-assisted CVD method

著者 (3件)： Fadzilah A. N. (Faculty of Electrical Engineering, Universiti Teknologi MARA (UiTM), 13500 Permatang Pauh, Pulau Pinang, Malaysia) ,  Dayana K. (NANO-ElecTronic Centre (NET), Faculty of Electrical Engineering, Universiti Teknologi MARA (UiTM), 40450 Shah Alam, Selangor, Malaysia) ,  Rusop M. (NANO-SciTech Centre (NST), Faculty of Applied Sciences, Universiti Teknologi MARA (UiTM), 40450 Shah Alam, Selangor, Malaysia)
資料名： AIP Conference Proceedings  (AIP Conference Proceedings)
巻： 1963  号： 1  ページ： 020042-020042-6  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0071C  ISSN： 0094-243X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,前駆体材料としてカンファー油の天然源を用いたエアロゾル支援化学蒸着(AACVD)による非晶質炭素(a-C)の堆積について報告した。4つの試料を,15sccmから20sccmまでの4つの異なる堆積流速で,各試料に対して5sccm間隔で堆積した。解析はデータの電気的,光学的および構造的解析を含む。合成パラメータの操作に由来するa-C構造を,太陽シミュレータシステム,UV-VIS-NIR,Raman分光器およびAFMによって特性化した。a-Cの特性は堆積技術と堆積パラメータに大きく依存した。したがって,ガス流量の影響を研究した。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *化学蒸着 ,  パラメータ ,  *エアロゾル ,  *非晶質 ,  流速 ,  分光計 ,  前駆体 ,  キャラクタリゼーション
準シソーラス用語： ガス流量 ,  太陽シミュレータ ,  *アモルファスカーボン ,  *炭素薄膜 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： エアロゾル ,  支援 ,  CVD法 ,  非晶質 ,  炭素薄膜 ,  堆積