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J-GLOBAL ID：201902211105995604   整理番号：19A1969431

異なる気体混合物中のトリメチルほう酸塩の分解過程の熱力学的モデリング【JST・京大機械翻訳】

Thermodynamic modeling of decomposition processes of trimethyl borate in different gas mixtures

著者 (3件)： Shestakov V.A. (Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences, 3, Acad. Lavrentjev Pr., Novosibirsk, 630090, Russia) ,  Kosyakov V.I. (Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences, 3, Acad. Lavrentjev Pr., Novosibirsk, 630090, Russia) ,  Kosinova M.L. (Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences, 3, Acad. Lavrentjev Pr., Novosibirsk, 630090, Russia)
資料名： Materials Today: Proceedings  (Materials Today: Proceedings)
巻： 16  号： P1  ページ： 88-94  発行年： 2019年 
JST資料番号： W3531A  ISSN： 2214-7853  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： B-C-O-H,B-C-O-HeおよびB-C-O-H-N系における化学蒸着に関する熱力学モデリングを行った。これらの系における熱力学的平衡を,300≦T_dep,K≦2000の条件に対するGibbs自由エネルギーの最小化により計算した。0.001≦P_total,Torr≦760;追加ガスと前駆体0≦R≦10のモル比。種々の組成の膜を得るために,ホウ酸トリメチルB(OCH_3)_3,ならびにヘリウム,水素およびアンモニアとの混合物を用いる可能性を示した。これらの系における凝縮相の堆積の平衡条件を,堆積温度と反応物比の関数として決定した。計算結果をCVD相図として示した。平衡での主な凝縮相は,B_2O_3,B_4C,BN,およびグラファイトであった。アンモニアの添加が膜の気相堆積の機構を著しく変えることを確立した。境界線の位置を決定する化学反応の方程式を決定した。これらの反応に対応する化学平衡がCVDプロセスの制御に使用できることを示した。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： グラファイト ,  モル比 ,  化学平衡 ,  化学蒸着 ,  *混合気体 ,  *ホウ酸塩 ,  状態図 ,  ヘリウム ,  水素 ,  前駆体 ,  Gibbs自由エネルギー ,  ホウ酸 ,  アンモニア ,  化学反応
準シソーラス用語： 凝縮相 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： トリメチルほう酸塩 ,  CVDプロセス ,  熱力学モデリング

分類 (1件)： 熱交換器,冷却器  (PA03020G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 気体混合物 ,  ほう酸塩 ,  分解過程 ,  熱力学的モデリング