文献
J-GLOBAL ID：201902211348869167   整理番号：19S1243490

Stacked integration of MEMS on LSI

  • 出版者サイト 複写サービスで全文入手
  • 高度な検索・分析はJDreamⅢで
著者 (2件)：
Esashi, Masayoshi

Esashi, Masayoshi について

(Micro System Integration Center (SIC), The World Premier International Research Center, Advanced Institute for Materials Research (WPI-AIMR), Tohoku University)

Micro System Integration Center (SIC), The World Premier International Research Center, Advanced Institute for Materials Research (WPI-AIMR), Tohoku University について

, 
Tanaka, Shuji

Tanaka, Shuji について

(Graduate School of Engineering, Tohoku University)

Graduate School of Engineering, Tohoku University について


資料名：
Micromachines

Micromachines について


巻： 7  号： 8  発行年： 2016年 
JST資料番号： SCOPUS  ISSN： 2072-666X 
発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)
タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
MEMS

MEMS について

, 
LSI

LSI について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM