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J-GLOBAL ID：201902211552740319   整理番号：19A0128898

ICP源のための種々の材料と構造のFaraday遮蔽の電磁的および熱的解析【JST・京大機械翻訳】

Electromagnetic and thermal analyses of Faraday shield of various materials and structures for an ICP source

著者 (7件)： Chen Peng (State Key Laboratory of Advanced Electromagnetic Engineering and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China) ,  Li Dong (State Key Laboratory of Advanced Electromagnetic Engineering and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China) ,  Chen Dezhi (State Key Laboratory of Advanced Electromagnetic Engineering and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China) ,  Song Fei (State Key Laboratory of Advanced Electromagnetic Engineering and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China) ,  Zuo Chen (State Key Laboratory of Advanced Electromagnetic Engineering and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China) ,  Zhao Peng (State Key Laboratory of Advanced Electromagnetic Engineering and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China) ,  Lei Guangjiu (Southwestern Institute of Physics, Chengdu 610041, China)
資料名： AIP Conference Proceedings  (AIP Conference Proceedings)
巻： 2052  号： 1  ページ： 040018-040018-7  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0071C  ISSN： 0094-243X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スリットを持つ薄壁金属構造であるFaraday遮蔽(FS)は,プラズマ浸食からセラミック管を保護し,容量結合を排除するために誘導結合プラズマ(ICP)源に使用される。電磁エネルギーはスリットを通してドライバに結合され,それはFSをICP源の重要な成分にする。FSにとって重要な材料と構造は,電磁場と温度の分布に影響を及ぼすはずである。本論文では,種々の材料と構造の電磁的および熱的性能への影響に関する議論を行った。異なる厚さ,スリット幅,スリット数およびスリット形状のFSと同様に,銅, アルミニウム, モリブデンおよびステンレス鋼製のFSを,実際のICP源のパラメータを参照して数値シミュレーションによって調査した。異なるFSの電磁場,RF電力損失,温度および応力を比較した。その結果,MoはCuと同様の電磁性能を有するが,FSに対してはCuよりも優れた熱性能を有することを示した。構造に関しては,RFパワー伝達効率はFSが厚くなるとわずかに減少する。適切なスリット幅と数が十分なRF結合とセラミック管への許容可能なプラズマ熱流束を可能にするために必要である。z形スロットFSと通常スロットFSのRF効率はほとんど同じである。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 熱流束 ,  ステンレス鋼 ,  アルミニウム ,  誘導結合プラズマ ,  *電磁場 ,  シミュレーション ,  銅 ,  モリブデン ,  パラメータ ,  プラズマ ,  浸食 ,  電磁エネルギー ,  忍容性
準シソーラス用語： 許容性 ,  伝達効率 ,  数値シミュレーション ,  セラミック管 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (3件)： ICP ,  Faraday遮蔽 ,  解析