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J-GLOBAL ID:201902211692453535   整理番号:19A1902798

簡単な高精度広スペクトル干渉計システム【JST・京大機械翻訳】

A simple high-precision wide-spectrum interferometric system
著者 (9件):
資料名:
巻: 90  号:ページ: 075109-075109-9  発行年: 2019年 
JST資料番号: D0517A  ISSN: 0034-6748  CODEN: RSINAK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,球レンズと非球面コリメータからなる干渉システムに基づいて,488~1064nmの波長範囲で波面情報を検出できる簡単なシステムを示した。この設計は短距離Gaussビーム展開と多重波長でのコリメーションに役立つ。システムの設計原理と性能を詳細に説明した。提案した装置とディジタル4D FizCam2000干渉計を用いて,種々の試験波長における非被覆N-BK7ガラス片の表面プロフィルを測定することにより,システムの測定精度を実験的に検証した。2つの方法の高度に一貫した測定結果は,提案したシステムが様々な波長で正確かつ効果的に動作することを明らかにした。次に,システムを適用して,波長808.0nmの太陽フィルタの透過波面誤差を測定した。測定結果は,超b反復性を示した。提案した技術は,従来の単一加工波長干渉システムの欠点を回避し,高精度で広いスペクトルで動作できず,一つのデバイスで多くの光帯域通過素子の波面特性を測定できない。この技術は,高精度で低コストの波長スイッチ可能レーザ干渉計の将来の応用のための技術的支援も提供する。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (3件):
分類
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レーザ一般  ,  半導体レーザ  ,  プラズマ診断 
タイトルに関連する用語 (2件):
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