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J-GLOBAL ID：201902211917972486   整理番号：19A2517776

外部較正と同位体希釈を用いた液体誘導結合プラズマ質量分析におけるレーザアブレーションを用いた焼結炭化ケイ素の元素分析における測定不確実性の評価【JST・京大機械翻訳】

Evaluation of measurement uncertainty in the elemental analysis of sintered silicon carbide using laser ablation in liquid-inductively coupled plasma mass spectrometry with external calibration and isotope dilution

著者 (5件)： Fujiwara Masahide (Faculty of Science and Engineering, Department of Applied Chemistry, Chuo University, Tokyo, Japan) ,  Hirosawa Koki (Faculty of Science and Engineering, Department of Applied Chemistry, Chuo University, Tokyo, Japan) ,  Nonose Naoko (National Metrology Institute of Japan, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Tsukuba, Ibaraki, Japan) ,  Nishida Sho (Faculty of Science and Engineering, Department of Applied Chemistry, Chuo University, Tokyo, Japan) ,  Furuta Naoki (Faculty of Science and Engineering, Department of Applied Chemistry, Chuo University, Tokyo, Japan)
資料名： Accreditation and Quality Assurance  (Accreditation and Quality Assurance)
巻： 24  号： 5  ページ： 329-339  発行年： 2019年 
JST資料番号： W1853A  ISSN： 0949-1775  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究の目的は,前処理として液体(LAL)中のレーザアブレーションを用いる元素分析法の不確実性を評価することであった。炭化ケイ素(SiC)のLAL試料採取後に,微量不純物を外部キャリブレーション(EC)による誘導結合プラズマ-セクタ電界質量分析(ICP-SFMS)を用いて定量した。濃度の拡張不確実性(k=2)は10%未満であった。より正確な値を得るために,SiCの試料表面に均一に分布したTiを同位体希釈質量分析(IDMS)を用いてICP-SFMSを用いて定量した。拡張不確実性(k=2)は3.4%に減少した。IDMSに関連するより小さい不確実性は,IDMSによる同じ元素の同位体比の測定と10ms間隔での高速同位体測定が,ECよりも効果的に不確実性の一次源である信号強度の変動性を減少させるという事実を反映した。さらに,IDとの組合せは,前処理における試料量依存性非再現性を改善した。Copyright 2019 Springer-Verlag GmbH Germany, part of Springer Nature Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *誘導結合プラズマ ,  *炭化ケイ素 ,  前処理 ,  *不確実性 ,  チタン ,  *元素分析 ,  *レーザアブレーション ,  高速度 ,  同位体存在比 ,  再現性 ,  電場 ,  *質量分析 ,  不純物 ,  *焼結 ,  *同位体希釈 ,  *プラズマ

著者キーワード (6件)： 炭化ケイ素 ,  液体中のレーザアブレーション ,  同位体希釈質量分析 ,  外部キャリブレーション ,  不確実性評価 ,  ICPセクター場質量分析

分類 (1件)： 質量分析  (CC03013N)

タイトルに関連する用語 (9件)： 較正 ,  同位体希釈 ,  誘導結合プラズマ質量分析 ,  レーザアブレーション ,  焼結 ,  炭化ケイ素 ,  元素分析 ,  測定不確実性 ,  評価