文献
J-GLOBAL ID：201902212440900348
整理番号：19A2094454
真空変換高性能容量MEMSマイクロホンのための新しいヒンジ機構【JST・京大機械翻訳】
Novel Hinge Mechanism for Vacuum Transduction High Performance Capacitive Mems Microphones
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著者 (4件)：
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資料名：
巻：
2019
号：
TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII
ページ：
663-666
発行年：
2019年
JST資料番号：
W2441A
資料種別：
会議録 (C)
記事区分：
原著論文
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
言語：
英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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本論文では,2つの雰囲気間の力の機械的伝達を可能にするマイクロスケールヒンジ機構の設計,製作および最初の実験結果を提示した。容量性MEMSマイクロホンの設計に適用した場合,この機構は,装置の分割を2つの別々の部分に可能にする:空気中の圧力収穫膜,真空中に置かれた容量変換器にリンクされる。理論的には,この分離は非常に低い音響的および機械的雑音をもたらし,それにより全体的なマイクロホン性能(推定SNR>75dB(A))を増加させるが,小さなデバイスフットプリント(<2mm~2)を維持する。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (3件)：
分類
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計算機網
, 人間機械系
, 図形・画像処理一般
タイトルに関連する用語 (5件)：
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