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J-GLOBAL ID：201902212581456036   整理番号：19A1580471

ガス凝集源により合成したパラジウムクラスタの成長に対する酸素の役割【JST・京大機械翻訳】

The role of oxygen on the growth of palladium clusters synthesized by gas aggregation source

著者 (6件)： Chamorro-Coral William (GREMI, UMR 7344 CNRS-Universite d’Orleans, Orleans, France) ,  Caillard Amaeel (GREMI, UMR 7344 CNRS-Universite d’Orleans, Orleans, France) ,  Brault Pascal (GREMI, UMR 7344 CNRS-Universite d’Orleans, Orleans, France) ,  Andreazza Pascal (ICMN, CNRS, Universite d’Orleans, Orleans, France) ,  Coutanceau Christophe (IC2MP UMR7285 CNRS - Universite de Poitiers, Poitiers, France) ,  Baranton Steve (IC2MP UMR7285 CNRS - Universite de Poitiers, Poitiers, France)
資料名： Plasma Processes and Polymers  (Plasma Processes and Polymers)
巻： 16  号： 7  ページ： e1900006  発行年： 2019年 
JST資料番号： W1950A  ISSN： 1612-8850  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 反応性ガスとして酸素を用いたマグネトロンスパッタリングに結合したガス凝集源を用いてパラジウムクラスタを成長させた。平均サイズが2.6~3.3nmのクラスタを得た。酸素は,より大きなクラスタの形成とクラスタ組成の修正を犠牲にして,因子3(4から11mg/h cm-2まで)によって堆積速度を強化する。酸素流量の増加は,PdからPdOへの遷移を誘起し,この転移は,すれすれ入射X線回折と高分解能透過型電子顕微鏡写真により示されるように,結晶中の2D構造欠陥の形成に続いた。酸素はターゲットとスパッタ原子の両方と相互作用し,ターゲット酸化がクラスタ成長過程を駆動する重要なステップと考えられることを強調した。Copyright 2019 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 二次元 ,  堆積速度 ,  酸化 ,  相互作用 ,  *酸素 ,  *パラジウム ,  クラスタ形成 ,  *凝集 ,  *クラスタ ,  マグネトロンスパッタリング ,  結晶 ,  酸化パラジウム
準シソーラス用語： 構造欠陥 ,  HRTEM ,  すれすれ入射X線回折 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： クラスタ ,  ガス凝集源 ,  マグネトロンスパッタリング ,  ナノ加工

分類 (2件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 凝集 ,  パラジウム ,  クラスタ ,  成長 ,  酸素 ,  役割