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J-GLOBAL ID：201902212596531266   整理番号：19A2067112

電気噴流マスク加工の内壁微細構造のシミュレーションと実験研究【JST・京大機械翻訳】

The simulation and experimental study of the mask Jet-ECM machining inner wall micro-structure

著者 (6件)： Wen Liang (广東工業大学机電工程学院,广州510006;广州市非伝統制造技術及装備重点実験室,广州510006) ,  Guo Zhongning (广東工業大学机電工程学院,广州510006;佛山市ge維科技有限公司,佛山528225) ,  Chen Chaoda (广東工業大学机電工程学院,广州510006;广州市非伝統制造技術及装備重点実験室,广州510006) ,  Chen Xiaolei (广東工業大学机電工程学院,广州510006;广州市非伝統制造技術及装備重点実験室,广州510006) ,  Wu Ming (广東工業大学机電工程学院,广州510006;广州市非伝統制造技術及装備重点実験室,广州510006) ,  Deng Yu (广東工業大学机電工程学院,广州510006;广州市非伝統制造技術及装備重点実験室,广州510006)
資料名： Xiandai Zhizao Gongcheng  (Xiandai Zhizao Gongcheng)
号： 6  ページ： 1-4,49  発行年： 2019年 
JST資料番号： C3027A  ISSN： 1671-3133  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 内部壁微細構造加工技術における機械振動加工、レーザー加工などは、いずれも点加工、加工効率が低い、機械あるいは高熱による材料除去プロセスに「フランジ」と重鋳層現象が存在し、加工品質が悪いなどの問題を引き起こす。球状陰極ノズルに基づく電気噴流マスク電解加工による内部壁微細構造を革新的に提案した。陰極ノズルの構造を設計し、一定スパンの扇状噴流を形成させ、数値制御運動プラットフォームを用いて、陰極ノズルの左右揺れスキャン加工曲面を実現し、加工効率と精度を高めた。従来のフォトレジストマスクの代わりに,可動型フレキシブルマスクを用いて,従来のマスク調製技術は,表面構造に適応できない問題を解決した。陰極ノズルの流れ場を,comsol多重物理場シミュレーションソフトウェアによって最適化し,一連の検証実験を行った。実験により、本方法は高効率、高精度電解加工内壁の微細構造を実現でき、設計要求に達し、その実行可能性を検証した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： フランジ ,  表面構造 ,  レーザ加工 ,  最適化 ,  多重化 ,  流れ場 ,  可動型 ,  カソード ,  電解加工 ,  スパン ,  数値制御 ,  左右揺れ ,  *微細構造 ,  走査
準シソーラス用語： 加工効率 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 工作一般  (QC01010O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 噴流 ,  マスク ,  内壁 ,  微細構造 ,  シミュレーション ,  実験 ,  研究