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J-GLOBAL ID：201902213364478842   整理番号：19A1386654

集積Ag/AgCl参照電極作製中の銀塩素化プロセスを特性化するための試験構造【JST・京大機械翻訳】

Test Structures for Characterising the Silver Chlorination Process During Integrated Ag/AgCl Reference Electrode Fabrication

著者 (8件)： Dunare C. (School of Engineering, Institute for Integrated Micro and Nano Systems, The University of Edinburgh, Edinburgh, UK) ,  Marland J.R.K. (School of Engineering, Institute for Bioengineering, The University of Edinburgh, Edinburgh, UK) ,  Blair E.O. (Department of Biomedical Engineering, University of Strathclyde, Glasgow, UK) ,  Tsiamis A. (School of Engineering, Institute for Bioengineering, The University of Edinburgh, Edinburgh, UK) ,  Moorel F. (School of Engineering, Institute for Integrated Micro and Nano Systems, The University of Edinburgh, Edinburgh, UK) ,  Terry J.G. (School of Engineering, Institute for Integrated Micro and Nano Systems, The University of Edinburgh, Edinburgh, UK) ,  Walton A.J. (School of Engineering, Institute for Integrated Micro and Nano Systems, The University of Edinburgh, Edinburgh, UK) ,  Smith S. (School of Engineering, Institute for Bioengineering, The University of Edinburgh, Edinburgh, UK)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019  号： ICMTS  ページ： 58-63  発行年： 2019年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロスケール集積電気化学センサのための参照電極を作製するために,ロバストで反復可能なプロセスが必要である。これに対する一つの方法は,薄膜銀層の化学的塩素化により,「銀/塩化銀」(Ag/agel)電極を製造することである。本論文では,プロセス開発と塩素化プロセスのインライン制御を支援するプロセスを電気的に特性化できる試験構造を提示した。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *塩素化 ,  *銀 ,  電気化学センサ ,  ロバスト性 ,  *キャラクタリゼーション ,  プロセス開発 ,  *基準電極 ,  薄膜
準シソーラス用語： マイクロスケール , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  計算機システム開発  (JD02010R) ,  生体計測  (EL03020C)

タイトルに関連する用語 (10件)： 集積 ,  Ag ,  AgCl ,  参照電極 ,  作製 ,  銀 ,  塩素化 ,  プロセス ,  特性化 ,  試験