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J-GLOBAL ID：201902214227747729   整理番号：19A2270104

超広動作温度範囲内の波長安定化のためのCMOS温度制御回路とSi_3N_4フィルタのモノリシック集積【JST・京大機械翻訳】

Monolithic Integration of CMOS Temperature Control Circuit and Si₃N₄ Microring Filters for Wavelength Stabilization Within Ultra Wide Operating Temperature Range

著者 (9件)： Zhang Huan (State Key Laboratory on Integrated Optoelelctronics, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences (ISCAS), Beijing, China) ,  Huang Beiju (State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics, ISCAS, Beijing, China) ,  Zhang Zan (School of Electronic and Control Engineering, Chang’an University, Xi’an, China) ,  Cheng Chuantong (State Key Laboratory on Integrated Optoelelctronics, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences (ISCAS), Beijing, China) ,  Zhang Zanyun (School of Electronic and Information Engineering, Tianjin Polytechnic University, Tianjin, China) ,  Zhang Hengjie (State Key Laboratory on Integrated Optoelelctronics, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences (ISCAS), Beijing, China) ,  Min Chengyu (State Key Laboratory on Integrated Optoelelctronics, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences (ISCAS), Beijing, China) ,  Chen Run (State Key Laboratory on Integrated Optoelelctronics, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences (ISCAS), Beijing, China) ,  Chen Hongda (State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics, ISCAS, Beijing, China)
資料名： IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics  (IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics)
巻： 26  号： 2  ページ： ROMBUNNO.8200407.1-7  発行年： 2020年 
JST資料番号： W0734A  ISSN： 1077-260X  CODEN： IJSQEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロリング共振器は,それらの小さなフットプリントと低消費電力のための能動的および受動的デバイスの両方に広く使われている。しかし,マイクロリングが製造不完全性と温度変化に非常に敏感であるので,共鳴波長の安定性の正確な制御を達成することは非常に困難である。本論文では,共鳴波長安定化のための相補型金属-酸化物-半導体(CMOS)温度制御回路とSi_3N_4マイクロリングフィルタのモノリシック集積の新しい方法を提案し,実証した。CMOSバックエンド過程を通して,Si_3N_4フォトニック層をCMOS回路チップ上に垂直に形成した。自動温度制御のために,統合Si_3N_4マイクロリングフィルタは,環境温度変化に対してほとんど免疫性であった。温度依存波長シフト(TDWs)は,環境温度同調範囲が30°Cから65°Cの範囲で,21.43pm/°Cから1.43pm/°Cに減少した。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *CMOS ,  *波長 ,  温度変動 ,  不整 ,  *温度制御 ,  半導体 ,  温度依存性 ,  酸化物 ,  *フィルタ
準シソーラス用語： 環境温度 ,  波長シフト ,  共鳴波長 ,  フットプリント ,  マイクロリング共振器 ,  *モノリシック集積化 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  光集積回路,集積光学  (BD06050D)

タイトルに関連する用語 (6件)： 温度範囲 ,  波長 ,  安定化 ,  CMOS ,  温度制御回路 ,  モノリシック集積