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J-GLOBAL ID：201902214985706556   整理番号：19S1765459

Development of the micro-mirror with large scaning angle using FE-based metallic glass thin film

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著者 (8件)：
Lee, Jae-Wung

Lee, Jae-Wung について

(WPI Advanced Institute, Materials Research Tohoku University)

WPI Advanced Institute, Materials Research Tohoku University について

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Lin, Yu-Ching

Lin, Yu-Ching について

(WPI Advanced Institute, Materials Research Tohoku University)

WPI Advanced Institute, Materials Research Tohoku University について

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Kaushik, Neelam

Kaushik, Neelam について

(WPI Advanced Institute, Materials Research Tohoku University)

WPI Advanced Institute, Materials Research Tohoku University について

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Esashi, Masayoshi

Esashi, Masayoshi について

(WPI Advanced Institute, Materials Research Tohoku University)

WPI Advanced Institute, Materials Research Tohoku University について

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Sharma, Parmanand

Sharma, Parmanand について

(Institute for Materials Research, Tohoku University)

Institute for Materials Research, Tohoku University について

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Inoue, Akihisa

Inoue, Akihisa について

(Institute for Materials Research, Tohoku University)

Institute for Materials Research, Tohoku University について

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Gessner, Thomas

Gessner, Thomas について

(Fraunhofer ENAS)

Fraunhofer ENAS について

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Gessner, Thomas

Gessner, Thomas について

(Chemnitz University of Technology)

Chemnitz University of Technology について


資料名：
2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11

2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11 について


ページ： 2912-2915  発行年： 2011年 
JST資料番号： SCOPUS  ISBN： 9781457701573 
発行国： アメリカ (USA)  言語： 英語 (EN)

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