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J-GLOBAL ID：201902215146871069   整理番号：19A0030080

Peking大学における2.45GHz ECRイオン源のプラズマ診断のための発光分光法【JST・京大機械翻訳】

Optical emission spectroscopy for plasma diagnosis of 2.45 GHz ECR ion source at Peking University

著者 (11件)： Wu W. B. (State Key Laboratory of Nuclear Physics and Technology & Institute of Heavy Ion Physics, School of Physics, Peking University, Beijing 100871, People’s Republic of China) ,  Peng S. X. (State Key Laboratory of Nuclear Physics and Technology & Institute of Heavy Ion Physics, School of Physics, Peking University, Beijing 100871, People’s Republic of China) ,  Ren H. T. (State Key Laboratory of Nuclear Physics and Technology & Institute of Heavy Ion Physics, School of Physics, Peking University, Beijing 100871, People’s Republic of China) ,  Xu Y. (State Key Laboratory of Nuclear Physics and Technology & Institute of Heavy Ion Physics, School of Physics, Peking University, Beijing 100871, People’s Republic of China) ,  Wen J. M. (State Key Laboratory of Nuclear Physics and Technology & Institute of Heavy Ion Physics, School of Physics, Peking University, Beijing 100871, People’s Republic of China) ,  Zhang A. L. (State Key Laboratory of Nuclear Physics and Technology & Institute of Heavy Ion Physics, School of Physics, Peking University, Beijing 100871, People’s Republic of China) ,  Zhang T. (State Key Laboratory of Nuclear Physics and Technology & Institute of Heavy Ion Physics, School of Physics, Peking University, Beijing 100871, People’s Republic of China) ,  Zhang J. F. (State Key Laboratory of Nuclear Physics and Technology & Institute of Heavy Ion Physics, School of Physics, Peking University, Beijing 100871, People’s Republic of China) ,  Sun J. (State Key Laboratory of Nuclear Physics and Technology & Institute of Heavy Ion Physics, School of Physics, Peking University, Beijing 100871, People’s Republic of China) ,  Guo Z. Y. (State Key Laboratory of Nuclear Physics and Technology & Institute of Heavy Ion Physics, School of Physics, Peking University, Beijing 100871, People’s Republic of China) ,  Chen J. E. (State Key Laboratory of Nuclear Physics and Technology & Institute of Heavy Ion Physics, School of Physics, Peking University, Beijing 100871, People’s Republic of China)
資料名： AIP Conference Proceedings  (AIP Conference Proceedings)
巻： 2011  号： 1  ページ： 020004-020004-3  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0071C  ISSN： 0094-243X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマ診断[特許番号:ZL 201110026605.4]の応用のために,北京大学(PKU)において,石英チャンバー2.45GHz ECRイオン源を設計した。本研究では,異なるガス圧力と異なるRFパワーで動作するこのイオン源のスペクトルを高分解能分光計で得た。衝突放射(CR)モデルと線強度比法をプラズマ発生過程の間の放電室内のプラズマパラメータ診断のために選択した。電子温度と電子密度を希ガスの線比に基づいて得た。水素の解離度を水素の線比で測定した。最後に,プラズマ過程をPKUでのクラスタイオン源の診断結果と性能に基づいて議論した。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 高分解能 ,  プラズマ生成 ,  希ガス ,  *診断 ,  分光計 ,  スペクトル ,  水素 ,  石英 ,  電子温度 ,  *イオン源 ,  *プラズマ ,  *プラズマ診断 ,  電子密度 ,  放電
準シソーラス用語： チャンバ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 大学 ,  ECRイオン源 ,  プラズマ診断 ,  発光分光法