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J-GLOBAL ID：201902215503150081   整理番号：19A0511565

2つの異なるピクセル型からなるX線マイクロカロリメータ焦点Planesの作製【JST・京大機械翻訳】

Fabrication of X-Ray Microcalorimeter Focal Planes Composed of Two Distinct Pixel Types

著者 (21件)： Wassell Edward J. (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Adams Joseph S. (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Bandler Simon R. (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Betancourt-Martinez Gabriele L. (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Chiao Meng P. (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Chang Meng Ping (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Chervenak James A. (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Datesman Aaron M. (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Eckart Megan E. (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Ewin Audrey J. (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Finkbeiner Fred Michael (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Ha Jong Yoon (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Kelley Richard (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Kilbourne Caroline A. (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Miniussi Antoine R. (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Sakai Kazuhiro (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Porter Frederick Scott (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Sadleir John E. (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Smith Stephen James (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Wakeham Nicholas A. (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA) ,  Yoon Wonisk (NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD, USA)
資料名： IEEE Transactions on Applied Superconductivity  (IEEE Transactions on Applied Superconductivity)
巻： 27  号： 4  ページ： ROMBUNNO.2300205.1-5  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0177A  ISSN： 1051-8223  CODEN： ITASE9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高計数率,高エネルギー分解能,および大きな視野を含むX線イメージング分光計の仕様を満たす汎用性のための超伝導遷移端センサ(TES)マイクロ熱量計焦点面を開発した。特に,2つのサブアレイで構成された焦点面,すなわち,微細ピッチの1つ,高い計数率のデバイス,および類似のエネルギー分解能を持つより大きなピクセルが,ヨーロッパ宇宙機関のATHENAミッションにおけるX線積分場ユニット装置のような天体物理装置の次世代の有望性を提供する。著者らは,別々に実証された成功した画素設計に関する著者らの現在の設計のサブアレイに基づいている。50μmピッチと75μmピッチの全金X線吸収体を持つピクセルは,Mo/Au TESが厚い金属加熱層を頂上し,高分解能を示し,高計数率に適応できる。実証されたより大きな画素は,250μm~2吸収体における熱絶縁,薄いAu,および添加ビスマス層に対して窒化ケイ素膜を使用する。各サブアレイのパラメータを調整するためには,二つの検出器タイプの製作プロセスを併合する必要がある。同じ基板上の異なるX線吸収体,小さな画素上の厚いAu,及びそれらの熱容量を調整するためのより大きな画素上のBiキャッピング層を有する薄いAuの二重生産のための作製プロセスを提示した。このプロセスは多重電気めっきとエッチングステップを必要とするが,吸収体は単一イオンミリング段階で定義される。二つのタイプのピクセルを同じ焦点面に統合する方法を,熱クロストークの限界を含む各サブアレイに対する要求と一致することを実証した。また,二分子層の厚さの変化を通して,異なるデバイスタイプに対する二分子層の固有転移温度(T_c)を調整するための作製プロセスの修正についても議論する。これらのハイブリッドアレイに関する最新の結果を示した。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *X線 ,  転移温度 ,  高分解能 ,  金 ,  吸収体 ,  検出器 ,  ビスマス ,  エネルギー分解能 ,  多重化 ,  *画素 ,  宇宙空間 ,  クロストーク ,  生産工程 ,  計数率
準シソーラス用語： サブアレイ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (4件)： ピクセル ,  X線マイクロカロリメータ ,  焦点 ,  作製