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J-GLOBAL ID：201902215886164281   整理番号：19A2913705

PDMS微小パーツの自己配列による二次元周期構造形成

著者 (4件)： 飯嶋勇樹 (名大 院) ,  溝尻瑞枝 (名大 院) ,  櫻井淳平 (名大 院) ,  秦誠一 (名大 院)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム(CD-ROM))
巻： 8th  ページ： ROMBUNNO.01pm4-PN-70  発行年： 2017年 
JST資料番号： L8358B  ISSN： 2432-9495  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： フォトリソグラフィと紫外線オゾン処理からなる加工プロセスにより,高い可視光透過率を有するPDMSを用いた自己配列用微小パーツを作製した.中心に円柱状の空隙を有する一辺10μm六角柱形状の微小パーツを1基板に6.0×10⁵個作製した.コーヒーリング効果を利用した自己配列試験を行い,微小ステップを有するテンプレート上の一部に,PDMS最密構造を形成することに成功した.配列したサンプルにHe-Neレーザを垂直入射し,背面のスクリーンにリング状の回折像を得た.この結果から部分的に周期構造が形成されたことが示された.(著者抄録)

シソーラス用語： *ポリジメチルシロキサン ,  自己整合 ,  *周期構造 ,  オゾン処理 ,  フォトリソグラフィー ,  透過率 ,  角柱 ,  *光学素子
準シソーラス用語： コーヒーリング効果 ,  光透過率 ,  六角柱

分類 (1件)： 光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (5件)： PDMS ,  微小 ,  パーツ ,  自己配列 ,  周期構造