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J-GLOBAL ID：201902216699408004   整理番号：19A2430883

ダイヤモンドシートを用いたガラス基板の固定砥粒研磨の研究-クーラント種による研磨レートの評価とその影響分析-

著者 (2件)： 畝田道雄 (金沢工大) ,  馬野公宜 (金沢工大 大学院)
資料名： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
巻： 63  号： 10  ページ： 522-527  発行年： 2019年10月01日 
JST資料番号： L0473A  ISSN： 0914-2703  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： HDD(Hard Disk Drive)の長期保存用媒体としての需要増加に伴い,HDDに用いられるガラス基板の低コスト化や量産化が要求されている.現在,ガラス基板の生産工程における第一次研磨では,ダイヤモンドシートとクーラントを用いた固定砥粒研磨法が採用されている.しかしながら,各種あるクーラント内のそれぞれに含まれる成分の影響を含め,使用するクーラントの特性が研磨レートに及ぼす影響は明らかにされていない.一方,クーラントの主成分は明らかにされていないことがほとんどであるが,研磨レートの大小に沿った何らかの物理的現象を生じると考えられる.本研究ではクーラントの物理的特性と研磨中におけるクーラントの挙動の観点から,ダイヤモンドシートによるガラス研磨の高能率化に求められる指針提示を目的とする.本論文では,研磨レートに影響を与える因子として,研磨中の摩擦係数やクーラントの動粘度,さらにはクーラント挙動としてのあやめ模様の物理的現象に着目し,データを取得した.さらに,重回帰分析することで,クーラントの性能諸元の明確化と研磨レートへの影響因子の解明を行った.その結果,クーラントの動粘度や摩擦係数,あやめ模様が研磨レートに影響することを確認した.(著者抄録)

シソーラス用語： 駆動機構 ,  磁気ディスク ,  基板 ,  電気装置部品 ,  *研磨 ,  ダイヤモンド ,  砥粒 ,  冷媒 ,  摩擦係数 ,  粘度 ,  多重回帰分析 ,  表面粗さ
準シソーラス用語： HDD ,  *ガラス基板 ,  ダイヤモンドシート ,  ダイヤモンド砥粒 ,  固定砥粒 ,  *クーラント ,  研磨速度 ,  研磨レート ,  動粘度 ,  重回帰分析

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

引用文献 (10件)：

• 1) Toshihiro ARISAKA : Dynamics Modeling and Simulation of Mechanical and Servo Systems in Hard Disk Drives, Bulletin of the Japan Society for Industrial and Applied Mathematics, 26, 4 (2016) 168-171 (in Japanese).10.11540/bjsiam.26.4_24
• 2) E-ichi MIYASHITA, Osamu KAWAMAE, Atsushi MUSHA and Tetsuhiko MUROI : Trend of Data Storage Device and Technology, The Journal of the Institute of Image Information and Television Engineers, 71, 3 (2017) 345-352 (in Japanese).
• 3) T. D. Fletcher, B. Dronen, F. T. Gobena, and E. Larson : Fixed Abrasive Flat Lapping with 3M^TM Trizact^TM Diamond Tile Abrasive Pads, Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2 (2003) 32-35.
• 4) Toshiyuki ENOMOTO : Technological advances in machining, Manufacturing & technology, 59, 3 (2007) 20-25 (in Japanese).
• 5) 内田 治:すぐわかるEXCELによる統計解析,(2001) 140.

タイトルに関連する用語 (9件)： ダイヤモンド ,  ガラス基板 ,  固定砥粒 ,  研磨 ,  研究 ,  クーラント ,  研磨レート ,  評価 ,  影響分析