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J-GLOBAL ID：201902216859659850   整理番号：19A0862369

反発力に基づく調整可能MEMS加速度計の動的応答【JST・京大機械翻訳】

Dynamic response of a tunable MEMS accelerometer based on repulsive force

著者 (4件)： Daeichin Meysam (Department of Mechanical Engineering, Binghamton University, Binghamton, NY 13902, United States) ,  Ozdogan Mehmet (Department of Mechanical Engineering, Binghamton University, Binghamton, NY 13902, United States) ,  Towfighian Shahrzad (Department of Mechanical Engineering, Binghamton University, Binghamton, NY 13902, United States) ,  Miles Ronald (Department of Mechanical Engineering, Binghamton University, Binghamton, NY 13902, United States)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 289  ページ： 34-43  発行年： 2019年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,設計が容量性プルイン不安定性によって妨げられないように,反発電極構成を用いた可変同調MEMS静電加速度計について述べた。反発力構成により,プルイン故障モードを受けることなくDCバイアス電圧を増加させることができた。電圧上昇におけるこの柔軟性は,作動周波数範囲を広げ,加速度計のロバスト性を改善するための同調パラメータとして使用できる。集中定数モデルを開発し,静電と動的機械的負荷の組合せ下での微細構造の応答をシミュレートした。有限要素シミュレーションを用いて静電力を推定した。運動の非線形方程式を,それぞれ,シューティングおよび長時間積分法を用いて,調和ベース励起および半正弦衝撃荷重に対して解いた。このモデルを検証するために,センサを調製し,高調波ベース励起と機械的衝撃下で特性化した。バイアス電圧が40Vのとき,0.1μg/gの機械的感度を達成した。実験データはシミュレーション結果と良く一致した。本研究で示された包括的な動的特性化は,調和および衝撃加速度に対する調整可能な能力を有する機能的加速度計の開発に寄与する。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： センサ ,  *加速度計 ,  キャラクタリゼーション ,  *動的応答 ,  微細構造 ,  同調 ,  シミュレーション ,  *MEMS ,  衝撃荷重 ,  衝撃 ,  励起 ,  柔軟性
準シソーラス用語： 静電気力 ,  集中定数モデル ,  バイアス電圧 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： MEMSセンサ ,  MEMS加速度計 ,  反発力 ,  プルイン不安定性 ,  非線形動力学

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 反発力 ,  調整可能 ,  MEMS ,  加速度計 ,  動的応答