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J-GLOBAL ID：201902217394667836   整理番号：19S1234957

ST-quartz/LiTaO3 direct bonding using SiO2 amorphous layers with VUV/O3 pre-treatment for a novel 5G surface acoustic wave device

著者 (6件)： Suzaki, Haruka (Waseda University) ,  Kuwae, Hiroyuki (Waseda University) ,  Okada, Akiko (Waseda University) ,  Ma, Bo (Waseda University) ,  Shoji, Shuichi (Waseda University) ,  Mizuno, Jun (Research Organization for Nano and Life Innovation, Waseda University)
資料名： 2016 International Conference on Electronics Packaging, ICEP 2016
ページ： 443-446  発行年： 2016年 
JST資料番号： SCOPUS  ISBN： 9784904090176 
発行国： アメリカ (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： SiO2 ,  VUV ,  O3 ,  5G ,  WAVE