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J-GLOBAL ID：201902218002771767   整理番号：19A0987264

Nb/Al-AlO_x/Nb Josephson接合に及ぼす膜応力の影響【JST・京大機械翻訳】

Film Stress Influence on Nb/Al-AlO_x/Nb Josephson Junctions

著者 (7件)： Wu Yu (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology and the Center for Excellence in Superconducting Electronics, Chinese Academy of Science, Shanghai, China) ,  Ying Liliang (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology and the Center for Excellence in Superconducting Electronics, Chinese Academy of Science, Shanghai, China) ,  Li Guanqun (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology and the Center for Excellence in Superconducting Electronics, Chinese Academy of Science, Shanghai, China) ,  Zhang Xue (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology and the Center for Excellence in Superconducting Electronics, Chinese Academy of Science, Shanghai, China) ,  Peng Wei (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology and the Center for Excellence in Superconducting Electronics, Chinese Academy of Science, Shanghai, China) ,  Ren Jie (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology and the Center for Excellence in Superconducting Electronics, Chinese Academy of Science, Shanghai, China) ,  Wang Zhen (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology and the Center for Excellence in Superconducting Electronics, Chinese Academy of Science, Shanghai, China)
資料名： IEEE Transactions on Applied Superconductivity  (IEEE Transactions on Applied Superconductivity)
巻： 29  号： 5  ページ： ROMBUNNO.1102105.1-5  発行年： 2019年 
JST資料番号： W0177A  ISSN： 1051-8223  CODEN： ITASE9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Nb/Al-AlO_x/Nb Josephson接合は超伝導量子干渉素子と高速単一磁束量子(RSFQ)回路に広く使われている。非常に大規模なRSFQ統合は,しばしばウエハスケール接合品質に関する厳しい要求を持っている。特に,Nb/Al-AlO_x/Nb三層ベースのJosephson接合におけるNb膜応力は,それらの品質に影響を及ぼす重要な因子である。本研究では,Nb膜応力と接合品質の間の相関を調べるために,応力と粗さの異なる組合せを持つNb膜を作製するための多段階スパッタリングプロセスを開発した。特に,この方法は,ほとんど同じ粗さを持つNb膜を調製することを可能にするが,異なる応力は,接合品質に及ぼす応力の影響のみを研究するための重要な因子である。著者らの測定は,非常にタイトな膜粗さ(2nm未満)の範囲内で,引張膜応力がNb/Al-AlO_x/Nb Josephson接合の品質を低下させ,より大きな膜粗さが接合品質に正の効果を持つことを示した。全引張応力を減少させ,膜粗さを適切に増加させることにより,R_sg/R_N(平均30)により特性化された高品質因子をもつNb/Al-AlO_x/Nb Josephson接合を作製した。接合の最小サイズは1μmであった。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 品質 ,  引張 ,  *膜応力 ,  キャラクタリゼーション ,  スパッタリング ,  引張応力 ,  *接合 ,  SQUID ,  *ニオブ ,  *Josephson接合
準シソーラス用語： 品質因子 ,  RSFQ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 医用画像処理  (JE04020T)

タイトルに関連する用語 (4件)： Nb ,  Al ,  Josephson接合 ,  膜応力