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J-GLOBAL ID：201902218615220620   整理番号：19A2088072

高効率結晶シリコン太陽電池用の蒸着CVD層からのレーザドーピング【JST・京大機械翻訳】

Laser doping from as-deposited CVD layers for high-efficiency crystalline silicon solar cells

著者 (4件)： Engelhardt Josh (University of Konstanz, Department of Physics, 78457 Konstanz, Germany) ,  Kromer Hermann (University of Konstanz, Department of Physics, 78457 Konstanz, Germany) ,  Hahn Giso (University of Konstanz, Department of Physics, 78457 Konstanz, Germany) ,  Terheiden Barbara (University of Konstanz, Department of Physics, 78457 Konstanz, Germany)
資料名： AIP Conference Proceedings  (AIP Conference Proceedings)
巻： 2147  号： 1  ページ： 070002-070002-6  発行年： 2019年 
JST資料番号： D0071C  ISSN： 0094-243X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 蒸着したCVD層からのレーザドーピングは太陽電池処理における選択的ドーピングのための新しい有望な分野である。それは,高スループットで自由に構造化され,適応可能なドーピングを可能にする。挑戦は種々のプロセスパラメータの最適化である。本研究では,不動態化品質に及ぼすフルエンスや掃引繰返し,熱処理,チューブ拡散などのレーザパラメータの影響を実証した。特に,得られたドーピングプロファイルとiV_OCレベルに対するレーザドーピングプロセス依存性を調べた。選択的エミッタと局所的なBSFによる太陽電池前駆体のレーザ処理は,約700mVのiV_OCに達し,工業的処理において>22.5%の高効率レベルを可能にすることを示した。この場合のプロセスフローは,プロセスステップ数の低減による低コスト手法に適している。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 不動態化 ,  *太陽電池 ,  前駆体 ,  最適化 ,  *蒸着 ,  品質 ,  *ドーピング ,  熱処理 ,  *レーザ ,  プロセスパラメータ ,  フルエンス
準シソーラス用語： ドーピングプロファイル ,  *レーザドーピング ,  *結晶シリコン太陽電池 ,  *高効率 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高効率 ,  結晶シリコン太陽電池 ,  蒸着 ,  CVD ,  レーザドーピング