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J-GLOBAL ID：201902218825171312   整理番号：19A0658659

Liイオン微小電池応用のための機能性電流コレクタ上に堆積したスパッタLiMn_1.5Ni_0.5O_4薄膜における堆積圧力によるカチオン秩序化の調整【JST・京大機械翻訳】

Tuning the Cation Ordering with the Deposition Pressure in Sputtered LiMn_1.5Ni_0.5O₄ Thin Film Deposited on Functional Current Collectors for Li-Ion Microbattery Applications

著者 (11件)： Letiche Manon (Universite de Lille, CNRS, Centrale Lille, ISEN, Universite de Valenciennes, UMR 8520 - IEMN, France) ,  Letiche Manon (Unite de Catalyse et de Chimie du Solide (UCCS), Universite de Lille, CNRS, Centrale Lille, ENSCL, Universite d’Artois, UMR 8181 - UCCS, France) ,  Letiche Manon (CNRS FR 3459, France) ,  Hallot Maxime (Universite de Lille, CNRS, Centrale Lille, ISEN, Universite de Valenciennes, UMR 8520 - IEMN, France) ,  Hallot Maxime (CNRS FR 3459, France) ,  Huve Marielle (Unite de Catalyse et de Chimie du Solide (UCCS), Universite de Lille, CNRS, Centrale Lille, ENSCL, Universite d’Artois, UMR 8181 - UCCS, France) ,  Brousse Thierry (CNRS FR 3459, France) ,  Brousse Thierry (Institut des Materiaux Jean Rouxel (IMN), CNRS UMR 6502, Universite de Nantes, France) ,  Roussel Pascal (Unite de Catalyse et de Chimie du Solide (UCCS), Universite de Lille, CNRS, Centrale Lille, ENSCL, Universite d’Artois, UMR 8181 - UCCS, France) ,  Lethien Christophe (Universite de Lille, CNRS, Centrale Lille, ISEN, Universite de Valenciennes, UMR 8520 - IEMN, France) ,  Lethien Christophe (CNRS FR 3459, France)
資料名： Chemistry of Materials  (Chemistry of Materials)
巻： 29  号： 14  ページ： 6044-6057  発行年： 2017年 
JST資料番号： T0893A  ISSN： 0897-4756  CODEN： CMATEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究の枠内で,機能性電流コレクタ上の高電圧スピネルLiMn_1.5Ni_0.5O_4(LMNO)スパッタ薄膜の開発を報告した。最初に,アニーリング処理下でPtSi相を形成するために,シリコンウエハとクロム/白金電流コレクタ間の相互拡散に起因するPtSi相による技術的問題を解決した。シリコン基板とLMNO層の間の障壁拡散として作用するALDにより堆積した非常に密でピンホールのないAl_2O_3薄膜によりCr層を置換することにより,合成過程(700°Cで空気下でアニールしたスパッタ薄膜)を検証した。本研究の第二部では,蒸着圧力と膜厚の関数としてスパッタしたLMNO薄膜の挙動を調べた。堆積圧力はスピネル様構造(P4_332秩序対Fd3m不規則スピネル)におけるMn-Niカチオン秩序化とその結果としての電気化学的性能に重要な役割を果たすことが分かった。したがって,10~2mbarで堆積し,700°CでアニールしたLMNO薄膜は,その無秩序なスピネル構造により,サイクルにより良好な容量保持で65μAh cm-2μm-1の正規化容量を与えることを示した。さらに,Coulomb効率は高電圧LMNO薄膜電極の膜厚に大きく依存することを示した。著者らの知る限りでは,本研究は,Si/Al_2O_3/Pt機能電流コレクタ上へのスパッタリング堆積により得られたLMNO薄膜の構造的および電気化学的特性化を組み合わせた最も完全な研究の一つである。Copyright 2019 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 膜電極 ,  *電流 ,  *電池 ,  スパッタ蒸着 ,  *薄膜 ,  *リチウム ,  焼なまし ,  *カチオン ,  ピンホール ,  膜厚 ,  薄膜成長 ,  スピネル
準シソーラス用語： 電気化学的特性 ,  Coulomb効率 ,  電気化学的性能 ,  シリコンウエハ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  誘電体一般  (BM05010F) ,  電気化学反応  (CB07050F) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  二次電池  (YB04030K)

タイトルに関連する用語 (12件)： Li ,  イオン ,  微小 ,  電池 ,  応用 ,  機能性 ,  コレクタ ,  堆積 ,  スパッタ ,  薄膜 ,  カチオン ,  秩序化