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J-GLOBAL ID：201902219111805602   整理番号：19A2087679

Al_2O_3の大気圧プラズマ増強空間ALDの赤外および発光分光研究【JST・京大機械翻訳】

Infrared and optical emission spectroscopy study of atmospheric pressure plasma-enhanced spatial ALD of Al₂O₃

著者 (5件)： Mione M. A. (Department Applied Physics, Eindhoven University of Technology, PO Box 513, 5600 MB Eindhoven, The Netherlands) ,  Engeln R. (Department Applied Physics, Eindhoven University of Technology, PO Box 513, 5600 MB Eindhoven, The Netherlands) ,  Vandalon V. (Department Applied Physics, Eindhoven University of Technology, PO Box 513, 5600 MB Eindhoven, The Netherlands) ,  Kessels W. M. M. (Department Applied Physics, Eindhoven University of Technology, PO Box 513, 5600 MB Eindhoven, The Netherlands) ,  Roozeboom F. (Department Applied Physics, Eindhoven University of Technology, PO Box 513, 5600 MB Eindhoven, The Netherlands)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 115  号： 8  ページ： 083101-083101-5  発行年： 2019年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大気圧プラズマ増強空間原子層堆積(PE-s-ALD)は,大面積応用のための低温で薄膜を合成するための高スループット技術である。ALD半反応の空間分離と反応物としての大気圧プラズマの使用は,まだ良く理解されていない複雑な表面化学を引き起こす。ここでは,Al(CH_3)_3とAr-O_2プラズマを用いて,80°Cで成長させたAl_2O_3膜のPE-s-ALD過程の基礎となる化学を研究するために,気相赤外分光法と発光分光法(OES)を用いた。反応生成物を同定し,前駆体への基板の曝露時間への依存性を調べた。赤外吸収スペクトルは,(i)OプラズマラジカルとO_3によるメチル化表面の燃焼様反応から生じる主なALD反応副産物としてのCO,CO_2,H_2OおよびCH_4,および(ii)生成および/または残留H_2O分子による同時潜熱ALD成分を示した。さらに,CH_2OとCH_3OHは,表面に由来する反応副産物またはプラズマ中に形成された反応副産物として同定された。OESスペクトルは,空間ALD過程で生じるOHとCHの放出を示すPE-s-ALD反応の燃焼特性の確証的証拠を提供し,一方,励起されたO種は消費されている。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 薄膜 ,  界面化学 ,  スペクトル ,  *大気プラズマ ,  メチル化 ,  赤外吸収スペクトル ,  *赤外線 ,  *発光分光法 ,  *プラズマ ,  前駆体 ,  潜熱 ,  低温 ,  赤外分光法 ,  気相
準シソーラス用語： 大面積 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 大気圧プラズマ ,  増強 ,  ALD ,  赤外 ,  発光分光 ,  研究