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J-GLOBAL ID：201902219683465443   整理番号：19A0330992

薄膜分析のための飛行時間弾性反跳検出分析測定システムの改良【JST・京大機械翻訳】

Upgrades of a time-of-flight elastic recoil detection analysis measurement system for thin film analysis

著者 (9件)： Yasuda K. (Graduate School of Life and Environmental Science, Kyoto Prefectural University, 1-5 Hangi-cho, Shimogamo, Sakyo-ku, Kyoto 606-8522, Japan) ,  Kajitori Y. (Department of Informatics and Environmental Science, Kyoto Prefectural University, 1-5 Hangi-cho, Shimogamo, Sakyo-ku, Kyoto 606-8522, Japan) ,  Oishi M. (Department of Informatics and Environmental Science, Kyoto Prefectural University, 1-5 Hangi-cho, Shimogamo, Sakyo-ku, Kyoto 606-8522, Japan) ,  Nakamura H. (Department of Informatics and Environmental Science, Kyoto Prefectural University, 1-5 Hangi-cho, Shimogamo, Sakyo-ku, Kyoto 606-8522, Japan) ,  Haruyama Y. (Graduate School of Life and Environmental Science, Kyoto Prefectural University, 1-5 Hangi-cho, Shimogamo, Sakyo-ku, Kyoto 606-8522, Japan) ,  Saito M. (Department of Nuclear Engineering, Kyoto University, Kyoto daigaku-katsura, Nishikyo-ku, Kyoto 615-8540, Japan) ,  Suzuki K. (The Wakasa Wan Energy Research Center, 64-52-1 Nagatani, Tsuruga, Fukui 914-0192, Japan) ,  Ishigami R. (The Wakasa Wan Energy Research Center, 64-52-1 Nagatani, Tsuruga, Fukui 914-0192, Japan) ,  Hibi S. (Toyota Central R&D Labs., Inc., 41-1 Yokomichi, Nagakute, Aichi 480-1192, Japan)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 442  ページ： 53-58  発行年： 2019年 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薄膜中の軽元素を分析するための飛行時間弾性反跳検出分析測定システムを開発した。システムは二つの時間検出器とシリコン検出器からなり,反跳イオンのエネルギーと飛行時間を同時に測定した。この系をHe,C,Cuビームを用いて2~20MeVのエネルギーで試験した。薄い炭素層の表面での深さ分解能は,2MeV~4Heビームで1.3±0.1nm,5MeV~63Cuビームで1.6±0.2nmであった。12MeV~63Cuビームを用いると,酸素測定の感度は3.8×10~14cm-2と評価された。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 検出器 ,  *薄膜 ,  反跳イオン ,  *計測システム ,  *弾性 ,  エネルギー ,  酸素飽和度測定
準シソーラス用語： *反跳 ,  深さ分解能 ,  シリコン検出器 ,  軽元素 ,  *ERD分析 ,  *飛行時間 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 飛行時間弾性反跳検出解析 ,  軽元素分析 ,  深さ分解能 ,  感度

分類 (2件)： イオンとの相互作用  (BK16070Z) ,  放射化学的分析一般  (CC06010J)

タイトルに関連する用語 (3件)： 飛行時間 ,  弾性反跳検出分析 ,  測定システム