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J-GLOBAL ID：201902219869369268   整理番号：19A0091299

モンテカルロ法に基づくMEMS力計不確実性解析【JST・京大機械翻訳】

Uncertainty analysis of MEMS force gauges based on Monte Carlo method

著者 (3件)： Han Qi (西安電子科技大学机電工程学院,陜西西安,710071) ,  Chen Guimin (西安電子科技大学机電工程学院,陜西西安,710071) ,  Shao Xiaodong (西安電子科技大学机電工程学院,陜西西安,710071)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 26  号： 9  ページ： 2289-2293  発行年： 2018年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 構造のサイズが小さいため、マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)の性能は加工プロセス中の各種不確定要素の影響を受けやすく、設計段階には不確定性がある。本文では、典型的なMEMS力計に対して不確定性分析を行い、大たわみ変形を考慮した条件下で、完全楕円積分分解に基づき、測定力計の負荷-変位モデルを示し、モデル結果により、変位が30μm以上になると、顕著な非線形性を示した。このモデルに基づいて,材料パラメータと構造寸法パラメータのランダム性を総合的に考慮し,測定不確実性解析のモンテカルロ法を研究し,モンテカルロサンプリングデータの線形回帰により,各パラメータの感度を計算する方法を与えた。測定計の不確実性に対する各パラメータの寄与を簡便に分析するために用いる。得られた結果と文献の一致は非常に良く、この方法の正確性と有効性を検証し、力計のロバスト設計及びプロセス改善に参考を提供した。システム不確実性解析の方法は,一般的で,単純であり,解析モデルへの依存性を避け,入力と出力の関係を表現するためのシステム不確実性の解析に適用可能である。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 解析モデル ,  *力計 ,  *MEMS ,  モデル ,  有効性 ,  *不確実性 ,  非線形性 ,  パラメータ ,  *モンテカルロ法
準シソーラス用語： パラメータ設計 ,  線形回帰 ,  モンテカルロサンプリング ,  ランダム性 ,  材料パラメータ ,  *不確実性解析 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 光学情報処理  (BD03060T) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (4件)： モンテカルロ法 ,  MEMS ,  力計 ,  不確実性解析