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J-GLOBAL ID：201902220082057760   整理番号：19A2299171

ゼロ価Ru(DMBD)(CO)_3と水を用いたルテニウム金属の自己触媒低温原子層堆積【JST・京大機械翻訳】

Self-Catalyzed, Low-Temperature Atomic Layer Deposition of Ruthenium Metal Using Zero-Valent Ru(DMBD)(CO)₃ and Water

著者 (10件)： Gao Zhengning (Institute of Materials Science and Engineering, Washington University in St. Louis) ,  Le Duy (Department of Physics, University of Central Florida) ,  Khaniya Asim (Department of Physics, University of Central Florida) ,  Dezelah Charles L. (EMD Performance Materials, Massachusetts, United States) ,  Woodruff Jacob (EMD Performance Materials, Massachusetts, United States) ,  Kanjolia Ravindra K. (EMD Performance Materials, Massachusetts, United States) ,  Kaden William E. (Department of Physics, University of Central Florida) ,  Rahman Talat S. (Department of Physics, University of Central Florida) ,  Banerjee Parag (Institute of Materials Science and Engineering, Washington University in St. Louis) ,  Banerjee Parag (Department of Mechanical Engineering and Materials Science, Washington University in St. Louis)
資料名： Chemistry of Materials  (Chemistry of Materials)
巻： 31  号： 4  ページ： 1304-1317  発行年： 2019年 
JST資料番号： T0893A  ISSN： 0897-4756  CODEN： CMATEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ルテニウム(Ru)膜を原子層堆積(ALD)を用いて堆積し,自己触媒反応機構により促進した。ゼロ価のη4-2,3-ジメチルブタジエンRu-(DMBD)-(CO)_3とH_2Oを用いて,Ru膜を0.1nm/サイクルの速度で蒸着した。定常堆積の温度は160~210°Cの間にある。X線回折,高分解能透過型電子顕微鏡,X線光電子分光法により膜構造と組成を確認した。10nmのRu膜の室温電気抵抗率は39μΩcmであることが分かった。その場四重極質量分析と密度汎関数理論を用いてALD表面反応を理解した。配位子,ジメチルブタジエンは表面上で解離的に脱着した。一方,カルボニル配位子はRu中心により触媒される。これは水性ガスシフト反応をもたらし,CO_2とH_2を形成する。堆積温度の変調はこれら二つの配位子解離反応に影響する。これは核形成,成長,したがってRu膜の性質に影響する。自己触媒反応は温和な共反応物を有する低温ALDの経路を提供する。Copyright 2019 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 密度汎関数法 ,  *低温 ,  X線回折 ,  *触媒 ,  膜構造 ,  *ルテニウム ,  電気抵抗率 ,  核形成 ,  X線光電子スペクトル ,  表面反応 ,  X線光電子分光法 ,  自触媒作用
準シソーラス用語： 反応物 ,  カルボニル配位子 ,  HRTEM ,  *自己触媒 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 電気化学反応  (CB07050F) ,  貴金属触媒  (CB06122I)

タイトルに関連する用語 (7件)： Ru ,  CO ,  水 ,  ルテニウム ,  自己触媒 ,  低温 ,  原子層堆積