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J-GLOBAL ID：201902220652920443   整理番号：19A2422458

AC結合CdTe X線検出器のための強誘電体薄膜キャパシタに関する研究【JST・京大機械翻訳】

Study on Ferroelectric Thin Film Capacitor for AC-Coupled CdTe X-ray Detector

著者 (4件)： Hayakawa M. (Department of Informatics, Graduated School of Integrated Science and Technology, Shizuoka University, Hamamatsu-shi, Shizuoka, Japan) ,  Nakagawa H. (Research Institute of Electronics, Shizuoka University, Hamamatsu-shi, Shizuoka, Japan) ,  Sakaida K. (Department of Informatics, Graduated School of Integrated Science and Technology, Shizuoka University, Hamamatsu-shi, Shizuoka, Japan) ,  Aoki T. (Research Institute of Electronics, Shizuoka University, Hamamatsu-shi, Shizuoka, Japan)
資料名： IFMBE Proceedings  (IFMBE Proceedings)
巻： 77  ページ： 741-744  発行年： 2020年 
JST資料番号： W5069A  ISSN： 1680-0737  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： X線検出器の電極上に強誘電体薄膜キャパシタを作製し,AC結合CdTeX線撮像装置を作製することを示した。結合コンデンサに必要な容量を決定するために,いくつかの結合コンデンサを用いて放射スペクトルを測定した。その結果,静電容量が大きいほど,正確な放射スペクトルを得ることができることが分かった。大きな静電容量を有する小さなコンデンサが必要であるので,BaTiO_3を高誘電率材料として選択した。スパッタリングにより約48μm~2の面積と約100nmの厚さの強誘電体薄膜キャパシタを作製した。測定の結果,静電容量は約880pFであり,周波数による誘電率の変化の傾向は過去の論文と一致した。誘電率は,紙中のBaTiO_3膜より著しく小さかった。主な問題はBaTiO_3膜の品質であると考えた。膜の品質は,高い基板温度の下で堆積することによって増加した。放射線検出器としてのCdTeの性能は高温で劣化する。したがって,低い基板温度でCdTe上にBaTiO_3を堆積する方法を考慮する必要がある。Copyright 2020 Springer Nature Switzerland AG Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 放射線検出器 ,  スパッタリング ,  コンデンサ ,  基板温度 ,  *テルル化カドミウム ,  静電容量 ,  高温 ,  *強誘電体 ,  *薄膜コンデンサ ,  品質 ,  誘電率
準シソーラス用語： 高誘電率材料 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： CdTe ,  ACカップリング ,  X線検出器 ,  BaTiO_3 ,  スパッタリング

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

タイトルに関連する用語 (6件)： Ac ,  CdTe ,  X線検出器 ,  強誘電体薄膜 ,  キャパシタ ,  研究