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J-GLOBAL ID：201902220922051513   整理番号：19A2029062

高速AFMによるAu(111)基板上でのPEG吸脱着のその場観察

著者 (4件)： 安田洋平 (北大 大学院) ,  吉岡大騎 (北大 大学院) ,  松島永佳 (北大 大学院) ,  上田幹人 (北大 大学院)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 139th  ページ： 163  発行年： 2019年03月06日 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 1.緒言 近年、集積回路の高集積化が進んでいる中で、ダマシンプロセスと呼ばれる電気めっき法は銅配線の微細化を支える技術として主に利用されている。その銅めっき浴には、抑制剤、促進剤、レベラーに分類される複数の添加剤を用いることで、トレンチやビ...【本文一部表示】

シソーラス用語： 金 ,  基板 ,  *ポリエチレンオキシド ,  *吸着 ,  脱着 ,  原子間力顕微鏡 ,  *その場観察

著者キーワード (3件)： ポリエチレングリコール ,  その場観察 ,  高速AFM

分類 (1件)： 物理的手法を用いた吸着の研究  (CB12043P)

タイトルに関連する用語 (5件)： AFM ,  Au ,  PEG ,  吸脱着 ,  その場観察