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J-GLOBAL ID：201902221022990836   整理番号：19A2396897

分子動力学法によるシリカ砥粒とPVAブラシ間の相互作用評価

著者 (6件)： 増谷浩一 (荏原製作所) ,  大渕真志 (荏原製作所) ,  浜田聡美 (荏原製作所) ,  宇野恵 (荏原製作所) ,  三上益弘 (慶応大) ,  高東智佳子 (荏原製作所)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2019  号： 春季(Web)  ページ： 140(J-STAGE)  発行年： 2019年09月04日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高清浄化が進むCMP装置の洗浄開発では,主要洗浄ツールであるPVAブラシによる基板からのナノサイズ砥粒除去メカニズムの解明が求められており,砥粒とブラシ間の相互作用力が有効な指標となる。水中におけるナノサイズ砥粒とPVA分子の間の相互作用には原子・分子レベルの現象が関与していると考えられるため,本研究では分子動力学法を用いて水中のシリカ砥粒とPVAブラシ間の自由エネルギーを計算し,その相互作用力を評価する。(著者抄録)

シソーラス用語： *化学機械研磨 ,  *砥粒 ,  *二酸化ケイ素 ,  *ポリビニルアルコール ,  *ブラシ掛け ,  *基板 ,  ナノ粒子 ,  *洗浄 ,  除去 ,  *相互作用 ,  分子動力学 ,  水中 ,  エネルギー計算 ,  自由エネルギー
準シソーラス用語： 自由エネルギー計算

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (1件)：

• 増谷, 大渕, 濵田, 三上, 高東, 第79回応用物理学会秋季学術講演会, 21p-135-14 (2018).

タイトルに関連する用語 (6件)： 分子動力学法 ,  シリカ ,  砥粒 ,  ブラシ ,  相互作用 ,  評価