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J-GLOBAL ID：201902221252359049   整理番号：19A0598762

電子顕微鏡を利用した塗布型磁性ガーネット膜の表面観察

Surface observation of coating iron garnet film using by the Scanning Electron Microscope

著者 (7件)： 中筋大樹 (鈴鹿工高専) ,  船木佑也 (鈴鹿工高専) ,  嶋本紘己 (鈴鹿工高専) ,  板谷年也 (鈴鹿工高専) ,  中村雄一 (豊橋技科大) ,  内田裕久 (豊橋技科大) ,  橋本良介 (鈴鹿工高専)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 118  号： 461(CPM2018 101-120)  ページ： 23-25  発行年： 2019年02月21日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 磁気光学イメージングは高空間分解能な非破壊検査手法として着目されている。しかし,先行研究ではセンサの材料である磁性ガーネット薄膜をスパッタ法により成膜していたため,成膜後に700°C程度の温度で結晶化熱処理が必要であった。したがって,成膜基板には耐熱性に優れる単結晶基板を利用していたため,センサのフレキシブル化が難しいという課題がある。本研究は,フレキシブルなセンサの作製手法として塗布法に着目し,ある程度の曲率を有する強磁性金属表面の磁気光学イメージングのためのセンサを開発することが目的である。本発表では,塗布したセンサ膜の表面を,電子顕微鏡を用いて観察した結果について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： 電子顕微鏡 ,  *電子顕微鏡観察 ,  イットリウム鉄ガーネット ,  磁性薄膜 ,  可視化 ,  磁気光学効果 ,  画像処理 ,  *非破壊検査 ,  塗膜 ,  表面
準シソーラス用語： 磁性ガーネット

分類 (2件)： 非破壊試験  (HB02030F) ,  金属組織観察法  (WB01010R)

引用文献 (7件)：

• 岩井勇五郎,産報出版,(1979)
• 城野政弘,宋智浩,岡部雅彦,上杉暢彦,大垣雅由,江口直紀,日本材料学会誌,Vol.33,No.368,p.560,(1984)
• J.Lee, T.Shoji, D.Minkov and M.Ishihara, Jour. Jpn. Soc. Mech. Eng., vol.64, 97, p.281, (1998)
• P.Novotny, P.Sajdl, P.Machac, NDT&E International, Vol.37, No.8, p.645, (2004)
• R.Hashimoto, H.Takagi, T.Yonezawa, K.Sakaguchi and M.Inoue, Jour. Appl. Phys., Vol.115,No.17, p.17A931, (2014)

タイトルに関連する用語 (3件)： 電子顕微鏡 ,  磁性ガーネット ,  観察