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J-GLOBAL ID：201902221436698505   整理番号：19S1372468

Ultra-sensitive angle sensor based on laser autocollimation for measurement of stage tilt motions

著者 (7件)： Shimizu, Yuki (Department of Nanomechanics, Tohoku University) ,  Tan, Siew Leng (Department of Nanomechanics, Tohoku University) ,  Murata, Dai (Department of Nanomechanics, Tohoku University) ,  Maruyama, Taiji (Department of Nanomechanics, Tohoku University) ,  Ito, So (Department of Nanomechanics, Tohoku University) ,  Chen, Yuan-Liu (Department of Nanomechanics, Tohoku University) ,  Gao, Wei (Department of Nanomechanics, Tohoku University)
資料名： Optics Express
巻： 24  号： 3  ページ： 2788-2805  発行年： 2016年 
JST資料番号： SCOPUS  ISSN： 1094-4087 
発行国： アメリカ (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (1件)： LASER