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J-GLOBAL ID:201902221883495725   整理番号:19A1402288

機械学習を用いたSiC溶液成長法の熱流動の高速予測と育成条件の最適化に関する基礎検討

著者 (13件):
資料名:
巻: 164th  ページ: ROMBUNNO.S2.10  発行年: 2019年03月06日 
JST資料番号: S0988B  ISSN: 2433-3093  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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【緒言】我々は溶液成長法による4H-SiCの高品質バルク単結晶育成技術の開発を行い、転位欠陥を構造変換させる技術を用いて高品質化を達成した。この高品質単結晶を大口径化するためには、高周波誘導加熱により黒鉛坩堝内で2000°C程度に溶融保持した...【本文一部表示】
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分類 (2件):
分類
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セラミック・陶磁器の製造  ,  半導体の結晶成長 

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