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J-GLOBAL ID:201902222159254373   整理番号:19A2640468

高濃度ガスへの半導体ガスセンサの信号分解能の改善【JST・京大機械翻訳】

Improving the signal resolution of semiconductor gas sensors to high-concentration gases
著者 (12件):
資料名:
巻: 162  ページ: Null  発行年: 2019年 
JST資料番号: H0225A  ISSN: 0038-1101  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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高濃度ガスの検出は,電圧信号が飽和するため,金属酸化物半導体(MOX)ガスセンサにより困難である。この問題を解決するために,n型増強モードFET(EMFET)とp型空乏化モードFET(DMFET)を組み合わせて,ズームp+n電界効果トランジスタ(FET)回路を設計した。この設計されたズームp+n FETは,約3.0V/10年の高い信号分解能を有するMOXガスセンサを,100~2000ppm(約100万)のアセトンガスに対して,FET(約0.8V/10年)を含まないMOXガスセンサの3倍の高い信号分解能で提供することができる。一方,このズーミング技術は,1%-20%LEL(低爆発限界)メタンのような高濃度の他のガスの検出にも適している。ズームp+n FETの原理は,ガス濃度の増加とともに,EMFETの抑制役割が最初に誘導され,低濃度ターゲットガスへの信号分解能の低下をもたらす。次に,その抑制効果は飽和し,DMFETは高濃度ターゲットガスにおいてON状態からオフ状態へスイッチし始め,ここで増幅効果,したがって増強された信号分解能をもたらす。この回路は高濃度ガス検出と多機能ガス検出器設計に有望である。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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