H_2OとH_2Sによるジエチル亜鉛を用いたZn(O,S)合金の原子層堆積:交換反応の影響【JST・京大機械翻訳】

Lancaster Diane K.; Sun Huaxing; George Steven M.; George Steven M.

文献

J-GLOBAL ID：201902222295899198 整理番号：19A1888194

H_2OとH_2Sによるジエチル亜鉛を用いたZn(O,S)合金の原子層堆積:交換反応の影響【JST・京大機械翻訳】

Atomic Layer Deposition of Zn(O,S) Alloys Using Diethylzinc with H₂O and H₂S: Effect of Exchange Reactions

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高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=19A1888194&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=W1877A") }}

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資料名：
巻： 121 号： 34 ページ： 18643-18652 発行年： 2017年
JST資料番号： W1877A ISSN： 1932-7447 CODEN： JPCCCK 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Zn-(O,S)薄膜は可変同調バンドギャップを有し,種々のタイプの太陽電池における伝導および価電子帯バッファとして有用である。原子層堆積(ALD)によるZn-(O,S)薄膜の以前の成長は,ZnO ALDとZnS ALDの交互サイクルを利用した。ZnOH*+H_2S→ZnSH*+H_2Oにより与えられたZnOとガス状H_2Sの間の効率的な交換反応のために,交互サイクルを用いてZn-(O,S)合金の組成を制御することは複雑である。この容易な交換反応は,Zn-(O,S)膜中の予想される硫黄含有量よりも高くなる。本研究では,Zn-(O,S)膜の組成に及ぼすこの交換反応の影響を反応条件を変えて調べた。交互サイクルを用いた成長では,Zn-(O,S)膜組成は温度とH_2S曝露のサイズに強く影響された。ZnO ALDとZnS ALDの交互サイクルを避ける代替法も用いて,Zn-(O,S)薄膜を成長させた。この代替法は,100°CでのH2OとH_2Sの共投与を使用する。共投与により,Zn-(O,S)膜の組成は,投与混合物のモル分率によって制御される。ZnOH*+H_2S→ZnSH*+H_2Oに対する交換反応速度(k_1)の相対的大きさとZnSH*+H_2O→ZnOH*+H_2Sに対する競合交換反応速度(k_2)をこの方法を用いて推定することができた。共投与の間の種々のH_2OおよびH_2S分圧のためのZn-(O,S)膜の組成の研究を通して,交換反応速度,k_1/k_2の比率を,71-231と決定した。交互サイクル法と共投与法を用いて成長させたZn-(O,S)薄膜のバンドギャップを測定した。バンドギャップは,H_2S/H_2O共投与混合物中のH_2Sモル分率を変化させることにより,ほとんどの制御で製造できた。Copyright 2019 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

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酸化物薄膜 , 物理的手法を用いた吸着の研究 , 無機化合物一般及び元素

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