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J-GLOBAL ID:201902222637686724   整理番号:19A0130637

10nm GAA NW FETに適用した変動感度マップアルゴリズムの解析【JST・京大機械翻訳】

Analysis of Fluctuation Sensitivity Map Algorithms Applied to a 10nm GAA NW FET
著者 (4件):
資料名:
巻: 2018  号: CDE  ページ: 1-4  発行年: 2018年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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産業と学界は,その影響を最小化するために,ナノデバイスの可変性の空間分布における関心を増加させている。変動感度マップは,いくつかの性能指数における可変性の異なるソースの空間効果に関する情報を提供するだけでなく,その推定を可能にする新しい技術である。感度を計算するための最適な方法を見出すために,3つのアルゴリズムを開発し比較した。このようなアルゴリズムを,10nmゲート長Siゲートオール(GAA)ナノワイヤ電界効果トランジスタ(FET)における金属粒粒度仕事関数変化の研究に適用した。各アルゴリズムに対する感度の予測力と空間決定の両方を解析した結果,性能指数とゲート内の各離散化点に対する仕事関数の間の線形あてはめの勾配が変動感度マップを決定する方法の最良であると結論した。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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図形・画像処理一般 
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