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J-GLOBAL ID：201902222763279604   整理番号：19A2913725

液体微小流量校正装置における高速切換バルブの導入と評価

著者 (3件)： CHEONG Kar-Hooi (産業技術総合研) ,  土井原良次 (産業技術総合研) ,  嶋田隆司 (産業技術総合研)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム(CD-ROM))
巻： 8th  ページ： ROMBUNNO.01pm4-PN-110  発行年： 2017年 
JST資料番号： L8358B  ISSN： 2432-9495  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 液体用流量計の校正によく用いられる通液式静的秤量法を実現するために,秤量計,秤量容器,ダイバータ(転流器)から構成された秤量システムが必要である.微小流量域では,ダイバータ構造への液付着量や液落下中の蒸発量による誤差が顕著化する問題がある.新しく開発した秤量システムは,ダイバータを2個の開閉バルブに置き換え,閉じた流路内で試験液の流れを切り換えることによって,微小流量域での校正において顕著化した構造物壁面への液付着量や落下中の液蒸発量による誤差を低減し,微小流量域での高精度な校正を可能にする.(著者抄録)

シソーラス用語： *流量計 ,  *キャリブレーション ,  液体流 ,  方向制御弁 ,  重量測定装置 ,  流量 ,  *誤差 ,  ISO規格 ,  空気圧弁 ,  減少
準シソーラス用語： *タイミング誤差 ,  誤差低減 ,  低流量

分類 (1件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 微小 ,  流量 ,  切換バルブ ,  評価