文献

J-GLOBAL ID：201902223420904496   整理番号：19A1689254

マイクロマシンジャイロスコープの衝撃特性および信頼性研究【JST・京大機械翻訳】

Research on the Impact Characteristics and Reliability of a MEMS Gyroscope

著者 (5件)： He Chunhua (北京大学微電子学研究院微米/納米加工技術国家級重点実験室,北京100871;美的集団,广東 佛山528311) ,  Zhao Qiancheng (北京大学微電子学研究院微米/納米加工技術国家級重点実験室,北京,100871) ,  Yang Zhenchuan (北京大学微電子学研究院微米/納米加工技術国家級重点実験室,北京,100871) ,  Zhang Dacheng (北京大学微電子学研究院微米/納米加工技術国家級重点実験室,北京,100871) ,  Yan Guizhen (北京大学微電子学研究院微米/納米加工技術国家級重点実験室,北京,100871)
資料名： Chuangan Jishu Xuebao  (Chuangan Jishu Xuebao)
巻： 32  号： 5  ページ： 643-648  発行年： 2019年 
JST資料番号： C2450A  ISSN： 1004-1699  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 微小機械ジャイロスコープの衝撃応答特性を深く把握するため、本論文では詳細な理論的導出とMATLABシミュレーション分析を行い、検証を行った。衝撃試験結果は,理論解析と試験結果が基本的に一致し,最も悪い状況を考慮すると,パルス幅の衝撃周波数がジャイロ固有振動数に近いほど,ジャイロ品質因子と衝撃加速度振幅が大きいとき,衝撃の影響が大きいほど,梁が破壊故障を起こしやすくなることを示した。従って,MEMSジャイロスコープの耐衝撃性を強化するために,ジャイロスコープの真空度および固有振動数を,総合的に最適化しなければならない。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 衝撃強さ ,  *信頼性 ,  *マイクロマシン ,  インパルス応答 ,  パルス幅 ,  *ジャイロスコープ ,  故障 ,  固有振動数 ,  最適化 ,  衝撃試験 ,  *衝撃
準シソーラス用語： MEMSジャイロスコープ ,  品質因子 ,  理論解析 ,  MATLAB , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 衝撃特性 ,  研究