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J-GLOBAL ID：201902223934309167   整理番号：19A1416385

新しい一次元シリコン系フォトニック結晶微小共振器の容易な設計と安定化【JST・京大機械翻訳】

Facile design and stabilization of a novel one-dimensional silicon-based photonic crystal microcavity

著者 (3件)： Salem Mohamed Shaker (Physics Department, Faculty of Science, Cairo University, 12613 Giza, Egypt) ,  Ibrahim Shaimaa Moustafa (Physics Department, Faculty of Science, Cairo University, 12613 Giza, Egypt) ,  Amin Mohamed (Physics Department, Faculty of Science, Cairo University, 12613 Giza, Egypt)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 122  号： 3  ページ： 033104-033104-11  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 正確に制御された電流密度分布を用いたフッ化水素酸ベース電解質中のシリコンの電気化学的陽極酸化により,二つの平行なルゲートミラー間にサンドイッチされた欠陥層からなる新しいシリコンベースの光学マイクロキャビティを作製した。このプロファイルは,ミラー間に欠陥層を形成するために適用される固定電流によって分離された二つの正弦変調電流波形から構成される。ルゲートベース微小共振器のスペクトル応答を伝達行列法を用いてシミュレートし,従来のBraggベース微小共振器と比較した。両微小共振器の共振位置は変化しないことが分かった。しかしながら,ルゲートベース微小共振器は,サイドバンドの強度の明確な減少を示した。側波帯の強度の更なる減衰は,ルゲートベースの微小共振器の底部と上部で最適化された厚さの屈折率整合層を作ることによって得られる。生成した微小空洞を自然酸化に対して安定化するために,細孔壁上の超薄二酸化チタン層の原子層堆積を行い,続いて熱アニーリングを行った。微小共振器共鳴位置は堆積とアニーリング過程に対して観測可能な感度を示した。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 側波帯 ,  *共振 ,  最適化 ,  電気化学 ,  *フォトニック結晶 ,  屈折率 ,  細孔 ,  電流 ,  *一次元 ,  酸化 ,  *微小共振器 ,  アノード酸化 ,  *ケイ素 ,  焼なまし
準シソーラス用語： 二酸化チタン , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 量子光学一般  (BD04010X) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S)

タイトルに関連する用語 (5件)： シリコン ,  フォトニック結晶 ,  微小共振器 ,  設計 ,  安定化