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J-GLOBAL ID：201902224073992076   整理番号：19A0089947

Lamb波共鳴MEMSアレイに基づく無ノズルマイクロ液滴噴射研究【JST・京大機械翻訳】

Nozzleless Micro-Droplet Ejection Using Lamb Wave Resonant MEMS Ejector Array

著者 (4件)： Zhang Hongxiang (天津大学精密測試技術及儀器国家重点実験室,天津,300072) ,  Ning Yuan (天津大学精密測試技術及儀器国家重点実験室,天津,300072) ,  Liu Bohua (天津大学精密測試技術及儀器国家重点実験室,天津,300072) ,  Zhang Menglun (天津大学精密測試技術及儀器国家重点実験室,天津,300072)
資料名： Chuangan Jishu Xuebao  (Chuangan Jishu Xuebao)
巻： 31  号： 9  ページ： 1301-1306  発行年： 2018年 
JST資料番号： C2450A  ISSN： 1004-1699  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： マイクロエレクトロメカニカル(MEMS)Lamb波共振器(LWR)に基づいて,1μLの液体の中の音響波を集束する圧電音波アクチュエータを設計し,ピコリットル液滴の生成とノズルレス噴射を実現した。この圧電音波アクチュエータは,8つの共鳴周波数で247.6MHzのLWRからなり,物理場の有限要素シミュレーションにより,中心50μmの領域での音響集束を実現する装置の構造を設計した。実験において,1μLの液体の表面での液滴の生成と噴射の小滴を,音響集束装置の製作によって,観察した。入力電力の制御により、単一液滴噴射、多液滴連続噴射、及び局部沸騰多方向噴射を実現できる。液滴噴射システムは音波集束による音響流体効果を利用して、ノズルなしの液滴噴射を実現し、多くの工程領域、特にマイクロフルイディクスの方向で広い応用前景があり、例えば、多方向液滴噴射、細胞位置制御など。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 音波 ,  *液滴 ,  共振器 ,  マイクロフルイディクス ,  *噴射 ,  音響 ,  *MEMS ,  共振周波数 ,  アクチュエータ ,  *Lamb波 ,  圧電気 ,  集束 ,  *共鳴
準シソーラス用語： 音響流 ,  有限要素シミュレーション , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： Lamb波 ,  共鳴 ,  MEMS ,  アレイ ,  液滴 ,  噴射 ,  研究