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J-GLOBAL ID：201902225835324460   整理番号：19A0610710

水熱合成(K,Na)NbO₃厚膜の組織観察

Texture Observation for Hydrothermally-synthesized (K, Na)NbO₃ Thick Films

著者 (3件)： 白石貴久 (東北大学金属材料研究所) ,  木口賢紀 (東北大学金属材料研究所) ,  今野豊彦 (東北大学金属材料研究所)
資料名： まてりあ  (Materia Japan)
巻： 58  号： 2  ページ： 84(J-STAGE)  発行年： 2019年 
JST資料番号： F0163A  ISSN： 1340-2625  CODEN： MTERE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・本研究では,強アルカリ溶液中で水熱合成の特徴を活かした,種々の膜厚範囲に対応可能な製膜手法を検討。
・膜厚3mmの圧電体(K,Na)NbO₃膜を(100)SrTiO₃基板上に作製し,マルチスケールでの組織観察を行うことで,組成分布や製膜過程を調査。
・SEMによる膜表面と膜断面の観察像から,製膜過程は柱状成長であり,(001)にエピタキシャル成長していること,また,緻密な膜が堆積していることが判明。
・膜基板界面でのSTEM-EDSの結果から,マクロスコピックにはKとNaが膜中に均一に分布しているなど,水熱法により高品質な圧電体厚膜の作製が可能であることを確認。

シソーラス用語： *水熱合成 ,  製膜 ,  *圧電体 ,  *セラミック膜 ,  厚膜 ,  ニオブ酸塩 ,  カリウム化合物 ,  ナトリウム化合物 ,  チタン酸ストロンチウム ,  基板 ,  分布 ,  化学組成 ,  エピタクシー ,  柱状晶 ,  緻密化 ,  均一性 ,  *電子顕微鏡観察 ,  セラミック厚膜 ,  一様分布
準シソーラス用語： マルチスケール観察 ,  均一分布 ,  顕微鏡観察法 ,  組成分布

著者キーワード (3件)： SEM (scanning electron microscopy) ,  STEM (scanning transmission electron microscopy) ,  EDS (energy dispersive spectrometry)

分類 (3件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  圧電デバイス  (NC03110I) ,  金属組織観察法  (WB01010R)

タイトルに関連する用語 (5件)： 水熱合成 ,  Na ,  厚膜 ,  組織 ,  観察