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J-GLOBAL ID：201902226194916347   整理番号：19A1415096

2.9~6nm領域におけるN_2ガス雰囲気下でのレーザ生成プラズマの放出の増加【JST・京大機械翻訳】

Increase of the emission of laser-produced plasmas under N₂ gas atmosphere in the 2.9-6 nm region

著者 (4件)： Kado Masataka (Kansai Photon Science Institute, National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology, 8-1-7, Umemidai, Kizugawa 619-0215, Japan) ,  Kishimoto Maki (Kansai Photon Science Institute, National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology, 8-1-7, Umemidai, Kizugawa 619-0215, Japan) ,  Shinohara Kunio (Kansai Photon Science Institute, National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology, 8-1-7, Umemidai, Kizugawa 619-0215, Japan) ,  Ejima Takeo (Institute for Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2-1-1, Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 111  号： 5  ページ： 054102-054102-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 炭素と酸素のK端の間の波長領域は水窓(λ=2.3~4.5nm)と呼ばれ,光の短波長と透明性の両方のために水溶液中の軽元素から成るナノメートルスケールの構造の観測に適していると考えられる。水溶液中のナノメータスケール構造はBrown運動により変動する。したがって,ナノメートルスケールの構造の観察は,水窓における光の1ショット露光によって達成できる。1ショット露光によりナノメータスケール構造を観測するために,水窓で動作する顕微鏡の光源は高い光束を示すはずである。一ショット露光に用いられる光源の一つはレーザ生成プラズマ(LPP)光源である。水窓におけるLPP光源の変換効率は1%以下である。したがって,1ショット観測には,高強度レーザまたは変換効率の改善が必要である。本研究では,LPP光源における発光強度の増加を,N_2ガス雰囲気下で,2.9nmから6nmまでの波長領域で観測した。ガス吸光度によって較正した強度値は,N_2圧力に比例して5倍まで増加した。それは0Paから400Paまで増加した。実験条件は,LPP光源の変換効率がガスの導入により改善されることを実証した。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 吸光度 ,  光束 ,  露光 ,  光源 ,  炭素 ,  酸素 ,  粒状材 ,  *レーザプラズマ ,  Brown運動 ,  水溶液 ,  発光強度 ,  変換効率 ,  軽元素 ,  波長領域 ,  *プラズマ
準シソーラス用語： 透明性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (3件)： ガス雰囲気 ,  レーザ生成プラズマ ,  放出