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J-GLOBAL ID：201902226886923510   整理番号：19A1629002

ナノ結晶LiNbO_3膜の特性に及ぼすパルスレーザ蒸着モードの影響【JST・京大機械翻訳】

Influence of Pulsed Laser Deposition Modes on Properties of Nanocrystalline LiNbO₃ Films

著者 (10件)： Vakulov Z. E. (Research and Education Centre “Nanotechnology,” Southern Federal University, Taganrog, Russia) ,  Varzarev Yu. N. (Research and Education Centre “Nanotechnology,” Southern Federal University, Taganrog, Russia) ,  Gusev E. Yu. (Research and Education Centre “Nanotechnology,” Southern Federal University, Taganrog, Russia) ,  Skrylev A. V. (Institute of Advanced Technology and Piezotechnics, Southern Federal University, Rostov-on-Don, Russia) ,  Panich A. E. (Institute of Advanced Technology and Piezotechnics, Southern Federal University, Rostov-on-Don, Russia) ,  Miakonkikh A. V. (Institute of Physics and Technology, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia) ,  Klemente I. E. (Institute of Physics and Technology, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia) ,  Rudenko K. V. (Institute of Physics and Technology, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia) ,  Konoplev B. G. (Research and Education Centre “Nanotechnology,” Southern Federal University, Taganrog, Russia) ,  Ageev O. A. (Research and Education Centre “Nanotechnology,” Southern Federal University, Taganrog, Russia)
資料名： Russian Microelectronics  (Russian Microelectronics)
巻： 48  号： 2  ページ： 59-65  発行年： 2019年 
JST資料番号： W4926A  ISSN： 1063-7397  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ニオブ酸リチウム膜の特性に及ぼすパルスレーザ蒸着の持続時間の影響を解明した。膜表面の粗さが(3.57±0.17)から(32.7±2.32)nmに増加し,結晶粒サイズが(235±22)nmから(346±33)nmに増加するにつれて,90から360分への堆積時間の増加は(47.5±3.8)nmから(197.9±15.8)nmに変化することが分かった。ナノ結晶LiNbO_3膜の相組成,電気物理的および光学的性質に及ぼすPLD期間の影響も調べた。(110.1±8.8)から(143.8±7.0)nmへの膜厚の増加は,電場強度の関数として分極のヒステリシスを引き起こし,これらの膜を強誘電体膜として参照し,音響光学と圧電技術の最先端の電子素子に用いることを可能にした。Copyright 2019 Pleiades Publishing, Ltd. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *パルスレーザ蒸着 ,  膜厚 ,  結晶粒径 ,  音響 ,  電界強度 ,  ニオブ酸リチウム ,  *ナノ結晶 ,  継続時間 ,  ヒステリシス ,  光学的性質 ,  相組成 ,  圧電気 ,  表面粗さ
準シソーラス用語： 電子素子 ,  強誘電体薄膜 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (2件)： ナノ結晶 ,  パルスレーザ蒸着