文献

J-GLOBAL ID：201902227285546092   整理番号：19A0293440

JFCC・ファインセラミックスの製造から試験評価までの最先端技術 電子顕微鏡による材料の微細構造解析技術-走査型電子顕微鏡(SEM)の最前線-

著者 (3件)： 横江大作 (ファインセラミックスセ ナノ構造研) ,  吉田竜視 (ファインセラミックスセ ナノ構造研) ,  加藤丈晴 (ファインセラミックスセ ナノ構造研)
資料名： 金属  (Materials Science & Technology)
巻： 89  号： 2  ページ： 161-164  発行年： 2019年02月01日 
JST資料番号： F0157A  ISSN： 0368-6337  CODEN： KNZKA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・セラミックスなど材料開発を行う過程において微細構造解析の重要性は論を待たず,SEMなど電子顕微鏡は欠かせない存在,そこで本稿では,SEMの特徴的な機能や試料前処理手法を概説。
・SEMでは,観察時の条件や試料調整手法によって,同一の信号での観察であっても得られる情報は異なるため,目的に合った最適な観察条件および試料調整手法を選択することが重要。
・低真空システムの活用事例として,Y₂O₃焼結体のEBSD法を用いた結晶方位解析事例,およびビッカース痕を導入したAl₂O₃焼結体のEBSD解析事例を紹介。
・SEM像を用いた三次元構築法として,SEMと集束イオンビーム(FIB)を組合せたFIB-SEM法について簡単に紹介。

シソーラス用語： *セラミック ,  *電子顕微鏡 ,  微細構造 ,  *構造解析 ,  試料調製 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子回折 ,  結晶方位 ,  集束イオンビーム ,  電子顕微鏡観察
準シソーラス用語： EBSD法 ,  FIB-SEM ,  立体構造解析

分類 (2件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  構造決定法・回折結晶学一般  (BK01010X)

タイトルに関連する用語 (9件)： ファインセラミックス ,  試験 ,  評価 ,  最先端技術 ,  電子顕微鏡 ,  微細構造 ,  解析 ,  走査型電子顕微鏡 ,  SEM