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J-GLOBAL ID：201902227321544505   整理番号：19A1476777

SiO₂膜のマイクロスラリージェットエロージョンにおける砥粒硬度およびスラリーpHの影響

著者 (5件)： 多田優志 (福井工大 大学院) ,  西岡岳 (福井工大 工) ,  半田直廉 (荏原製作所) ,  和田雄高 (荏原製作所) ,  檜山浩國 (荏原製作所)
資料名： 日本機械学会北陸信越支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM)
巻： 56th  ページ： ROMBUNNO.L043  発行年： 2019年03月02日 
JST資料番号： L0204C  ISSN： 2424-2772  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロスラリージェットエロージョン(MSE)は,スラリー(砥粒懸濁液)を材料に高速で衝突させ表面を除去する方法であり微細加工への適用が期待される.その基礎的検討として,LSIの絶縁膜として広く用いられるSiO2膜について,砥粒硬度およびスラリーpHがMSE特性に及ぼす影響を実験により調べた.その結果,砥粒硬度はエロージョンレートの大小に直接対応せず他の因子も影響していることが明らかとなった.また,スラリーpHが高いほどエロージョンレートは上昇し,SiO2膜の研磨特性と類似した傾向が見られた.(著者抄録)

シソーラス用語： *エロージョン腐食 ,  *化学機械研磨 ,  噴流 ,  *絶縁膜 ,  研磨 ,  *超精密加工 ,  砥粒 ,  *pH【水素イオン指数】 ,  スラリー ,  研磨剤 ,  酸化ケイ素
準シソーラス用語： ジェット【噴流】 ,  超精密研磨加工 ,  研磨スラリー ,  シリコン酸化物

分類 (2件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  その他の表面処理  (WC08070F)

タイトルに関連する用語 (5件)： SiO2 ,  砥粒 ,  硬度 ,  スラリー ,  pH