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J-GLOBAL ID：201902227342002202   整理番号：19A2189553

球圧子の繰返し押付けにより生じたDLC膜の損傷と膜構造が及ぼす損傷への影響

Failure of DLC Films Caused by Cyclic Sphere Indentation and Effects of Film Structures on Failure Mode

著者 (5件)： 中村守正 (京都工芸繊維大学 機械工学系) ,  高川祐加 (京都工芸繊維大学大学院 機械設計学専攻) ,  山添竜輝 (京都工芸繊維大学大学院 機械設計学専攻) ,  三浦健一 (大阪産業技術研究所 経営企画本部) ,  小畠淳平 (大阪産業技術研究所 金属表面処理研究部)
資料名： 塑性と加工  (Journal of the Japan Society for Technology of Plasticity)
巻： 60  号： 702  ページ： 203-208(J-STAGE)  発行年： 2019年 
JST資料番号： G0076A  ISSN： 0038-1586  CODEN： SOKAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ダイヤモンド状炭素(DLC)のような硬質皮膜の新しい強度評価法として,繰返し押込試験を提案した。次に,試験装置を製作し,DLCの評価に用いた。DLCの接着強さの改善のためのDLCとCr/C傾斜組成中間層を,アンバランスドマグネトロン(UBM)スパッタリング法により熱処理して研磨したJIS SCM415基板上に調製した。直径10mmのSi₃N₄球を繰返し押込試験に用いた。10000サイクルの押付けにより,圧痕においてDLC破壊と剥離がもたらされた。また,リング状亀裂が圧痕の周りに観察された。Gピーク強度に対するDピーク強度の比であるI(D)/I(G)は,圧痕の中心に向かって減少する。これは,DLC中のsp²クラスタサイズの減少を示すと考えられた。一方,圧縮応力は,そのGピーク位置の変化によって示されるように,接触領域におけるDLCの表面近くで増加した。圧痕におけるDLCの破壊と剥離の原因と考えられた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 低合金鋼 ,  低炭素合金鋼 ,  表面処理 ,  *DLC膜 ,  マグネトロンスパッタリング ,  皮膜 ,  硬さ試験 ,  載荷試験 ,  圧痕 ,  圧子 ,  層間剥離 ,  亀裂 ,  Ramanスペクトル ,  微細構造 ,  繰返し試験 ,  SCM415 ,  中間層 ,  硬質皮膜 ,  *押込試験 ,  破壊機構
準シソーラス用語： 微細組織

著者キーワード (8件)： DLC ,  PVD ,  工具/金型 ,  押込 ,  強度 ,  故障 ,  剥離 ,  Ramanスペクトル

分類 (2件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

引用文献 (17件)：

• 1) Nakamura, M.:Mechanical Surface Tech, 2012-06 (2012), 24-26.
• 2) Tsuda, S., Yoshihara, S., Tsuji, Y. & Iriyama, Y.:J. JILM, <b>60</b>-9 (2010), 438-443.
• 3) Murakawa, M.:J. JSTP., 54-626 (2013), 225-229.
• 4) Iwamura, E.:Hakumaku no Ouryoku・Mittyakusei・Hakuri Trouble Handbook, (2007), 122-125, Jyoho-Kiko.
• 5) Nakamura, M., Miura, K., Matsuoka, T. & Hirayama, T.:J. Soc. Mat. Sci., <b>57</b>-5 (2008), 488-494.

タイトルに関連する用語 (5件)： 球圧 ,  押付け ,  DLC膜 ,  損傷 ,  膜構造