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J-GLOBAL ID：201902227502714354   整理番号：19A1524641

Czochralskiプロセスの結晶成長速度と結晶半径を予測するグレーボックスモデルの構築

A gray-box model of Czochralski process for predicting crystal radius and crystal growth

著者 (6件)： 加藤祥太 (京大) ,  KIM Sanghong (京大) ,  加納学 (京大) ,  藤原俊幸 (SUMCO) ,  水田匡彦 (SUMCO) ,  長谷部伸治 (京大)
資料名： システム制御情報学会研究発表講演会講演論文集(CD-ROM)  (Proceedings of the Annual Conference of the Institute of Systems, Control and Information Engineers (CD-ROM))
巻： 63rd  ページ： ROMBUNNO.GSa01-5  発行年： 2019年05月15日 
JST資料番号： X0014B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *Czochralski法 ,  *成長速度 ,  半径 ,  *予測モデル ,  モデリング ,  内部構造 ,  *ケイ素 ,  モデル ,  初期値問題 ,  統計模型 ,  部分最小二乗法 ,  加熱器 ,  液体 ,  温度
準シソーラス用語： *結晶成長速度 ,  単結晶シリコン ,  熱伝達モデル ,  融液

分類 (1件)： 半導体の結晶成長  (BK13040X)

タイトルに関連する用語 (7件)： プロセス ,  結晶成長速度 ,  結晶 ,  半径 ,  予測 ,  ボックスモデル ,  構築