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J-GLOBAL ID：201902227733482427   整理番号：19A2228397

費用効果の良い静電サスペンションシステムのための可変構造コントローラ【JST・京大機械翻訳】

A variable structure controller for a cost-effective electrostatic suspension system

著者 (1件)： Le Truyen (Department of Mechanical Engineering, HoChiMinh City University of Food Industry, Vietnam)
資料名： Transactions of the Institute of Measurement and Control  (Transactions of the Institute of Measurement and Control)
巻： 41  号： 12  ページ： 3438-3451  発行年： 2019年 
JST資料番号： E0581B  ISSN： 0142-3312  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,静電懸架システムの減衰力と非線形動特性を考慮して設計された可変構造制御装置を用いて,静電力により4インチシリコンウエハを懸濁させた。この制御装置はスライディングモード制御装置から構成され,スライディングモード制御装置の役割を果たすスライディングモード制御装置とスライディングモード制御装置の局所的存在領域において使用される。提案した制御装置の性能を強調するために,シミュレーションと実験結果を示した。制御装置の性能を以前の研究で提案された遅延制御装置の性能と比較した。実験結果は,非常に小さな定常状態振動振幅を持つ大気環境中で,300μmのギャップ長で4インチシリコンウエハが安定に懸濁していることを示した。シミュレーションと実験結果は,可変構造制御装置が,大きな減衰力が懸架物体に及ぼすとき,ギャップ変動を抑制するための遅れ制御装置より効果的であることを示した。Copyright The Author(s) 2019 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 懸垂 ,  振動振幅 ,  *懸架装置 ,  非線形力学 ,  *制御装置 ,  懸濁液
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  定常状態 ,  スライディングモード・コントローラ ,  静電気力 ,  可変構造制御 ,  *可変構造 ,  *費用対効果 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： シリコンウエハ ,  静電気力 ,  静電サスペンション ,  可変構造コントローラ

分類 (2件)： プロセス制御  (IC03040B) ,  操縦・制御系統  (QK05020Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： 費用効果 ,  サスペンションシステム ,  可変構造 ,  コントローラ