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J-GLOBAL ID：201902227818857380   整理番号：19A1053138

屈曲金属クラッド導波路によるプラズマ発光スペクトルの表面結合【JST・京大機械翻訳】

Surface coupling of plasma optical emission spectra with bent metal-clad waveguide

著者 (2件)： Ali Syed Ashar (Department of Electronic Engineering, Myongji University Korea, Yongin, South Korea) ,  Hong Sang Jeen (Department of Electronic Engineering, Myongji University Korea, Yongin, South Korea)
資料名： Optical and Quantum Electronics  (Optical and Quantum Electronics)
巻： 51  号： 2  ページ： 1-11  発行年： 2019年 
JST資料番号： A0205A  ISSN： 0306-8919  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 垂直に放出された光を収集し,水平方向に伝送するためのコンパクトな湾曲金属クラッド導波路の設計を示した。設計の意図は,プロセスチャンバ内に存在するプラズマ気相化学を監視するために,半導体エッチプロセスチャンバ内部のプラズマ発光スペクトルを収集することである。最大結合効率が52%を超える748から753nmまでの可視スペクトル範囲に対して結合器Aを設計した。一方,結合強度62%での波長範囲775から780nmでは,60%の最大効率をもつ808nmから813nmまでの可視スペクトルをカバーした。表面結合器は,良好なスペクトル特性,かなりのアラインメント許容性および9×5×1.6μm~3の最小サイズを明らかにした。従来の格子結合器に比べて比較的簡単な幾何学的構造は,製造コストを下げるのに有利である。Copyright 2019 Springer Science+Business Media, LLC, part of Springer Nature Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 半導体 ,  アラインメント ,  可視スペクトル ,  *導波路 ,  結合器 ,  集積光学 ,  *発光スペクトル ,  製造原価 ,  気相 ,  *プラズマ
準シソーラス用語： 格子結合器 ,  結合強度 ,  結合効率 ,  湾曲 ,  *クラッド層 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 表面結合 ,  金属クラッド導波路 ,  可視スペクトル ,  集積光学 ,  ナノフォトニクス

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (5件)： 屈曲 ,  クラッド ,  導波路 ,  プラズマ発光 ,  スペクトル