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J-GLOBAL ID：201902228201116168   整理番号：19A1766833

Josephson接合との共作製が可能な超伝導コプレーナ導波路共振器【JST・京大機械翻訳】

Superconducting Coplanar Waveguide Resonators Capable of Cofabrication with Josephson Junctions

著者 (10件)： Zhang Yingshan (Department of Microelectronics and Nanoelectronics, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Zhang Yingshan (Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Liu Jianshe (Department of Microelectronics and Nanoelectronics, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Liu Jianshe (Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Zhao Changhao (Department of Microelectronics and Nanoelectronics, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Zhao Changhao (Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Huang Rutian (Department of Microelectronics and Nanoelectronics, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Huang Rutian (Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Chen Wei (Department of Microelectronics and Nanoelectronics, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Chen Wei (Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing, China)
資料名： Journal of Superconductivity and Novel Magnetism  (Journal of Superconductivity and Novel Magnetism)
巻： 32  号： 7  ページ： 1937-1944  発行年： 2019年 
JST資料番号： W0180A  ISSN： 1557-1939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超伝導コプレーナ導波路共振器とJosephson接合は超伝導量子情報処理チップの重要な構成要素である。共振器は通常,リフトオフまたはエッチングにより作製されるが,Josephson接合は三層プロセスまたは二重角度蒸発により作られる。作製プロセスを単純化するために,Josephson接合と共振器の両方に同じプロセスステップを用いる方式を提案した。シミュレーションと実験を行い,提案したプロセスにより製作した共振器が従来のプロセスに匹敵する品質因子を持つことを確認した。本研究は,超伝導大規模集積回路に関する量子情報処理のための道を開いた。Copyright 2019 Springer Science+Business Media, LLC, part of Springer Nature Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 簡素化 ,  *Josephson接合 ,  LSI【IC】 ,  *コプレーナ導波路 ,  *共振器 ,  蒸発 ,  *超伝導
準シソーラス用語： 品質因子 ,  リフトオフ ,  量子情報処理 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 超伝導コプレーナ導波路 ,  共振器 ,  品質因子 ,  三層プロセス ,  量子情報処理

分類 (2件)： その他の超伝導応用装置  (BM04044V) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (5件)： Josephson接合 ,  作製 ,  伝導 ,  コプレーナ導波路 ,  共振器