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J-GLOBAL ID：201902228590617310   整理番号：19A1715680

コンビナトリアルスパッタリングにより成長させたCoFeZr薄膜の磁気的および構造的特性評価【JST・京大機械翻訳】

Magnetic and structural characterization of CoFeZr thin films grown by combinatorial sputtering

著者 (8件)： Frisk Andreas (Department of Physics and Astronomy, Uppsala University, Box 516, SE-751 20 Uppsala, Sweden) ,  Ahlberg Martina (Department of Physics and Astronomy, Uppsala University, Box 516, SE-751 20 Uppsala, Sweden) ,  Muscas Giuseppe (Department of Physics and Astronomy, Uppsala University, Box 516, SE-751 20 Uppsala, Sweden) ,  George Sebastian (Department of Physics and Astronomy, Uppsala University, Box 516, SE-751 20 Uppsala, Sweden) ,  Johansson Robert (Department of Physics and Astronomy, Uppsala University, Box 516, SE-751 20 Uppsala, Sweden) ,  Klysubun Wantana (Synchrotron Light Research Institute (SLRI), 111 University Ave., Muang, Nakhon Ratchasima 30000, Thailand) ,  Jonsson Petra E. (Department of Physics and Astronomy, Uppsala University, Box 516, SE-751 20 Uppsala, Sweden) ,  Andersson Gabriella (Department of Physics and Astronomy, Uppsala University, Box 516, SE-751 20 Uppsala, Sweden)
資料名： Physical Review Materials  (Physical Review Materials)
巻： 3  号： 7  ページ： 074403  発行年： 2019年 
JST資料番号： W3690A  ISSN： 2475-9953  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 30~85at%Co,12~63at%Fe,4~8at%Zrの組成を持つ,組合せ同時スパッタリングにより作製したCoFeZr薄膜の構造と磁気特性の詳細な研究を報告した。拡張X線吸収微細構造とX線回折測定は,5at.%以下のZr含有量の合金がbcc構造を有する多結晶であることを明らかにしたが,非晶質形態は6at.%以上のZr含有量で安定化した。全ての試料は成長誘起面内一軸異方性を示し,これはウエハを横切るZr濃度勾配に密接に関係している。容易/ハード異方性軸のGauss分布を含む還元残留磁気の角度依存性に対するモデルを示し,全ての試料に対するデータに適合させるために成功裏に用いた。多結晶膜の磁気モーメントはほぼSlater-Pauling曲線に従い,非晶質膜の磁気モーメントは類似の傾向に従ったが,約20%低い値を示した。X線磁気円二色性測定は,非晶質膜に対して,Coモーメントが[数式:原文を参照]で実質的に一定であることを示した。Copyright 2019 The American Physical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *ジルコニウム ,  磁気モーメント ,  異方性 ,  *薄膜 ,  多結晶 ,  *構造特性 ,  X線回折 ,  残留磁化 ,  非晶質 ,  一軸 ,  角度依存性 ,  合金 ,  モーメント ,  *磁気
準シソーラス用語： 同時スパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 金属結晶の磁性  (BM06040T) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (5件)： 成長 ,  薄膜 ,  磁気 ,  構造的特性 ,  評価